| 查看: 894 | 回复: 2 | ||
| 本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看 | ||
risktaker111金虫 (正式写手)
|
[求助]
磁控溅射 镍薄膜 直流 交流 电源
|
|
| 如题，本人最近用磁控溅射在硅衬底上镀Ni薄膜，但是用直流电源时，功率无法调节，基本上加上电源，功率就恒定了，电流表数值很小，电压表数值7Kv左右固定，怎么调，功率都不变？什么原因！ 其次，用交流电源时，功率可以调节了，但是淀积速率太慢，2h，150w功率，2Pa，才30nm左右？谁做过类似的实验，请指教！ |
回复此楼» 猜你喜欢
有时候，自然基金真的不能太认真 （我的申报经验）
已经有11人回复
-
欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律
已经有68人回复
-
时间戳又变了8-15
已经有23人回复
-
filecode=后面第一个是大写字母
已经有7人回复
-
filecode
已经有12人回复
-
小木虫上这么多卖论文的，真有人买论文么？感觉没必要啊
已经有13人回复
-
哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜？
已经有7人回复
-
关于Filecode分析方法
已经有13人回复
-
各位道友，我要去昆明玩几天，回来见。
已经有8人回复
-
咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否
已经有22人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于磁控溅射的问题
已经有7人回复
- 直流脉冲磁控溅射镀硅膜阳极掉渣严重
已经有17人回复
- 磁控溅射ITO是用直流的好还是射频的好？
已经有7人回复
- 磁控溅射镀镍，出现起辉两分钟后，自动电压、电流跳零，这是为什么？
已经有6人回复
- 关于磁控溅射直流镀锌
已经有25人回复
- 磁控溅射 射频电源 不能起辉（谢谢）
已经有20人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- [求助]磁控溅射设备中的强磁靶接射频电源是否会对靶位造成损伤？
已经有9人回复
- 磁控溅射电源求助
已经有17人回复
- 直流磁控溅射的仪器大概要多少钱呀
已经有4人回复
- 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
已经有15人回复
- 磁控溅射 镀铝
已经有11人回复
- 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
已经有13人回复
- 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
已经有9人回复
- 磁控溅射
已经有5人回复
- 磁控溅射电源的电流调不上去是怎么回事？
已经有6人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 磁控溅射镀氧化铝
已经有35人回复
- 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
已经有21人回复
- 【求助】直流磁控溅射AlN薄膜的工艺条件，比如氮气流量、比例，镀膜气压？？靶电压？
已经有6人回复
- 【交流】咨询磁控溅射负偏压问题
已经有5人回复
- 【交流】磁控溅射合金时，Film的成分
已经有6人回复
- 【求助】磁控溅射的使用
已经有4人回复
辽宁号
木虫 (著名写手)
航空母舰舰长
- 博学EPI: 83
- 应助: 81 (初中生)
- 金币: 4158.9
- 散金: 141
- 红花: 4
- 沙发: 106
- 帖子: 1920
- 在线: 419小时
- 虫号: 2031186
- 注册: 2012-09-26
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
risktaker111: 金币+5, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2013-03-12 20:11:18
risktaker111: 金币+5, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2013-03-12 20:11:18
|
铁，钴，镍是导磁材料，装上镍靶后靶面磁场减弱，不容易起辉，或起辉后溅射速度变慢。 可以采用薄靶材和强磁场的磁路布局方式解决问题。 https://bbs.chinesevacuum.com/dispbbs.asp?boardid=34&id=34487 |
2楼2013-03-12 11:17:38
fengzi枫紫
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1151.2
- 散金: 105
- 红花: 2
- 帖子: 144
- 在线: 56.9小时
- 虫号: 1118697
- 注册: 2010-10-10
- 性别: MM
- 专业: 胶体与界面化学
3楼2013-04-24 08:53:37
