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虫号: 2031186
注册: 2012-09-26
性别: GG
专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
risktaker111: 金币+5, 博学EPI+1,
★★★
很有帮助
2013-03-12 20:11:18
铁,钴,镍是导磁材料,装上镍靶后靶面磁场减弱,不容易起辉,或起辉后溅射速度变慢。
可以采用薄靶材和强磁场的磁路布局方式解决问题。
https://bbs.chinesevacuum.com/dispbbs.asp?boardid=34&id=34487
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自由水世界
2楼
2013-03-12 11:17:38
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