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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 磁控溅射ITO是用直流的好还是射频的好？
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王九秀wjx

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射ITO是用直流的好还是射频的好？ 已有5人参与

磁控溅射ITO是用直流的好还是射频的好？
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1楼 2012-11-29 21:10:18
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wu1008

金虫 (著名写手)
肯定是磁控啦
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2楼2012-11-29 21:38:34
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秋后的蚊子

金虫 (小有名气)
chemlh: 欢迎积极交流 2012-11-30 07:10:47
射频
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永远的不努力 造成总差一点
3楼2012-11-29 22:00:33
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王九秀wjx

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 秋后的蚊子 at 2012-11-29 22:00:33
射频

为什么是射频的好？
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4楼2012-11-29 22:05:50
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floljf

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
ITO的导电性能很好，射频和直流都可以用的！不过也要看你的用途，会有一些区别？
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5楼2012-11-30 09:23:38
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dearhanzi

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
nofrunolif: 鼓励交流，能否解释下，为何射频比直流溅射要好呢？主要区别在那里？ 2012-11-30 19:43:56
如果做研究，当然射频的好了。
如果是生产，绝对是直流的。目前世界上没有人用射频来做这个的生产。
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6楼2012-11-30 11:01:57
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ljjbpp

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
若是减少损伤  绝对是dc和rf一起加!
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女人能讲讲道理多好！
7楼2012-11-30 14:08:50
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dearhanzi

金虫 (小有名气)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-05 21:56:33
引用回帖:
6楼: Originally posted by dearhanzi at 2012-11-30 11:01:57
如果做研究，当然射频的好了。
如果是生产，绝对是直流的。目前世界上没有人用射频来做这个的生产。

如果你的靶材导电性这些不是很好，但是直流也不是不能用的时候，射频就会更加稳定。如果硬要用直流也可以，但是或许你的靶材的一些问题会被放大或者累计。射频会帮你弥补一些，当然是质量好的射频电源。打火 这些问题会少很多，对你膜层质量要好一些。
但是也不是绝对的，所以看你的靶材，以及设备这些来决定。
不需要非要追究哪个好哪个不好哦
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8楼2012-12-05 14:41:27
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