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王九秀wjx

新虫 (初入文坛)

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[交流] 磁控溅射ITO是用直流的好还是射频的好？已有5人参与

磁控溅射ITO是用直流的好还是射频的好？

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1楼 2012-11-29 21:10:18

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dearhanzi

金虫 (小有名气)

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蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-05 21:56:33

引用回帖:

6楼: Originally posted by dearhanzi at 2012-11-30 11:01:57
如果做研究，当然射频的好了。
如果是生产，绝对是直流的。目前世界上没有人用射频来做这个的生产。

如果你的靶材导电性这些不是很好，但是直流也不是不能用的时候，射频就会更加稳定。如果硬要用直流也可以，但是或许你的靶材的一些问题会被放大或者累计。射频会帮你弥补一些，当然是质量好的射频电源。打火这些问题会少很多，对你膜层质量要好一些。
但是也不是绝对的，所以看你的靶材，以及设备这些来决定。
不需要非要追究哪个好哪个不好哦