有人知道怎么洗掉(去除)GaAs表面的polyimide吗？
光刻掩模弄错了，已经在350度加热固化了。
GaAs表面的polyimide如何洗掉？用丙酮行吗？
不想用酸，会对GaAs有腐蚀作用。
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碱性水解
O2 plasma 打胶
能否详细介绍一下怎么操作？你的回帖好像不是应助，我没法给你金币。
我用的是东丽PW-1500系列的polyimide
谢谢回帖。我们实验室没这设备
plasma应该会对GaAs表面有损伤吧，我也不懂
，
经过350度加热固化之后基本不能用化学湿法去胶了，只能用干法plasma灰化去胶。
亦或用UV 去胶