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hamiltonian

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 有人知道怎么洗掉(去除)GaAs表面的polyimide吗? 已有1人参与

光刻掩模弄错了,已经在350度加热固化了。
GaAs表面的polyimide如何洗掉?用丙酮行吗?
不想用酸,会对GaAs有腐蚀作用。
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zhoubucun

木虫 (正式写手)

2楼2017-12-08 20:48:47
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zzzzzaha

铁杆木虫 (著名写手)

3楼2017-12-08 22:32:18
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hamiltonian

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zhoubucun at 2017-12-08 20:48:47
碱性水解

能否详细介绍一下怎么操作?你的回帖好像不是应助,我没法给你金币。
4楼2017-12-09 10:18:37
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hamiltonian

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zhoubucun at 2017-12-08 20:48:47
碱性水解

我用的是东丽PW-1500系列的polyimide
5楼2017-12-09 10:20:04
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hamiltonian

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by zzzzzaha at 2017-12-08 22:32:18
O2 plasma 打胶

谢谢回帖。我们实验室没这设备
plasma应该会对GaAs表面有损伤吧,我也不懂
6楼2017-12-09 10:21:13
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
hamiltonian: 金币+10, 谢谢您的回答,问了一下厂家,好像是很难除去了。 2018-01-31 10:03:55
经过350度加热固化之后基本不能用化学湿法去胶了,只能用干法plasma灰化去胶。
7楼2018-01-06 16:26:45
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weike658

铜虫 (小有名气)

8楼2018-07-06 06:34:44
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低调谦虚DE

新虫 (初入文坛)

Pw1500是感光型polyimide,在没有固化之前和普通光阻一样,可以用NMP去除,350度固化之后,可以用氧等离子体打掉,这个我试过。

发自小木虫Android客户端
飞了这么久,依然在寻找着方向。
9楼2018-07-07 10:42:51
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weike658

铜虫 (小有名气)

10楼2018-10-18 18:58:54
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