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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 有人知道怎么洗掉(去除)GaAs表面的polyimide吗？
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hamiltonian

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 有人知道怎么洗掉(去除)GaAs表面的polyimide吗？ 已有1人参与

光刻掩模弄错了，已经在350度加热固化了。
GaAs表面的polyimide如何洗掉？用丙酮行吗？
不想用酸，会对GaAs有腐蚀作用。
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1楼 2017-12-08 13:30:36
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
hamiltonian: 金币+10, 谢谢您的回答，问了一下厂家，好像是很难除去了。 2018-01-31 10:03:55
经过350度加热固化之后基本不能用化学湿法去胶了，只能用干法plasma灰化去胶。
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7楼2018-01-06 16:26:45
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zhoubucun

木虫 (正式写手)
碱性水解

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2楼2017-12-08 20:48:47
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zzzzzaha

铁杆木虫 (著名写手)
O2 plasma 打胶

发自小木虫Android客户端
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3楼2017-12-08 22:32:18
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hamiltonian

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zhoubucun at 2017-12-08 20:48:47
碱性水解

能否详细介绍一下怎么操作？你的回帖好像不是应助，我没法给你金币。
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4楼2017-12-09 10:18:37
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