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hamiltonian

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 有人知道怎么洗掉(去除)GaAs表面的polyimide吗? 已有1人参与

光刻掩模弄错了,已经在350度加热固化了。
GaAs表面的polyimide如何洗掉?用丙酮行吗?
不想用酸,会对GaAs有腐蚀作用。
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zzzzzaha

铁杆木虫 (著名写手)

3楼2017-12-08 22:32:18
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zhoubucun

木虫 (正式写手)

2楼2017-12-08 20:48:47
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hamiltonian

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zhoubucun at 2017-12-08 20:48:47
碱性水解

能否详细介绍一下怎么操作?你的回帖好像不是应助,我没法给你金币。
4楼2017-12-09 10:18:37
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hamiltonian

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zhoubucun at 2017-12-08 20:48:47
碱性水解

我用的是东丽PW-1500系列的polyimide
5楼2017-12-09 10:20:04
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