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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 有人知道怎么洗掉(去除)GaAs表面的polyimide吗？
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hamiltonian

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 有人知道怎么洗掉(去除)GaAs表面的polyimide吗？ 已有1人参与

光刻掩模弄错了，已经在350度加热固化了。
GaAs表面的polyimide如何洗掉？用丙酮行吗？
不想用酸，会对GaAs有腐蚀作用。
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1楼 2017-12-08 13:30:36
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zzzzzaha

铁杆木虫 (著名写手)
O2 plasma 打胶

发自小木虫Android客户端
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3楼2017-12-08 22:32:18
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zhoubucun

木虫 (正式写手)
碱性水解

发自小木虫Android客户端
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2楼2017-12-08 20:48:47
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hamiltonian

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zhoubucun at 2017-12-08 20:48:47
碱性水解

能否详细介绍一下怎么操作？你的回帖好像不是应助，我没法给你金币。
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4楼2017-12-09 10:18:37
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hamiltonian

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zhoubucun at 2017-12-08 20:48:47
碱性水解

我用的是东丽PW-1500系列的polyimide
赞一下 回复此楼
5楼2017-12-09 10:20:04
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