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磁控溅射控制薄膜厚度

作者 晓桥歌
来源: 小木虫 1100 22 举报帖子
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磁控溅射射频怎么控制薄膜厚度,除了时间以外的其他参数,我希望薄膜能薄一点,怎么办?

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