| 查看: 1264 | 回复: 4 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者cas-issp将赠送您 50 个金币 | ||
[求助]
新人 旋涂法制备In2O3 薄膜晶体管的一些问题已有1人参与
|
||
本人刚开始做一些用化学溶液法制备金属氧化物薄膜晶体管的研究。首先想先采用最常用的In2O3作为沟道层，来制备薄膜晶体管，熟悉制备以及测试的流程方法。我们采用乙二醇甲醚或去离子水作为溶剂，在购买的SiO2/Si 衬底上旋涂制备In2O3薄膜，用溅射法制备源漏电极（文章中多用Al，但是条件有限，我们结合现有条件，采用Au作为源漏电极，不知是否可行？）。但是测试输出特性曲线的时候，一直如下图所示。测试转移特性曲线的时候，曲线一直很平，而且Id电流值很小，电阻特别大，感觉有点不显示，而且曲线又不像探针没压上那样跳来跳去。 求教各位做过氧化物薄膜晶体管的大佬前来指教，非常感谢！如果可行的话，非常希望多多交流！ qq_pic_merged_1543454073237.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
博士白读了
已经有53人回复
-
with editor 两个月了，什么原因？
已经有18人回复
-
优青已经开始了么？
已经有3人回复
-
请问UV灯是365nm的，那么选光引发剂的波长选多少的？要完全一致吗？
已经有5人回复
-
江苏理工学院要慎选
已经有3人回复
-
博士招生-211农业院校
已经有7人回复
-
材料方向24博士申请/一作SCI三篇
已经有5人回复
-
失之东隅 收之桑榆
已经有6人回复
-
真的好想读博！
已经有23人回复
-
基金开始函评了吗？
已经有17人回复
2楼2019-02-28 16:33:42
Dr_WuGH
金虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1761.8
- 帖子: 431
- 在线: 11.7小时
- 虫号: 15172311
- 注册: 2019-05-23
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2019-05-24 12:14:18
dearmaximus
金虫 (正式写手)
迷途小书童/二手科学家
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 2513
- 散金: 30
- 红花: 5
- 帖子: 664
- 在线: 341.4小时
- 虫号: 355083
- 注册: 2007-04-25
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
4楼2019-11-06 13:14:05
Z780283717
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 387.1
- 散金: 52
- 帖子: 162
- 在线: 14.9小时
- 虫号: 29505431
- 注册: 2022-04-19
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
5楼2024-03-01 12:25:31
