磁控溅射控制薄膜厚度
磁控溅射射频怎么控制薄膜厚度，除了时间以外的其他参数，我希望薄膜能薄一点，怎么办？
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加我扣： 591945765， 交流一些关于镀膜的问题
除了时间，靶材到基底的距离，温度，工作气压，功率都可以起到控制作用的，可以找一些文献参考一下调整参数
磁控溅射可调参数很多，楼上说的调节样品台位置我觉得不太合适 因为可能出了溅射的均匀区（根据你的设备定），增大气压确实可以改变膜厚，因为气压大反溅射严重，会出现膜厚变薄，不过这得自己尝试，