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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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wuyou2013

超级版主

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

[求助] 磁控溅射制备的铁单质薄膜的铁磁性很弱 已有3人参与

如题,请问磁控溅射镀制磁性薄膜需要注意什么?
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大家好!
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Friend007

管理员

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
引用回帖:
4楼: Originally posted by wuyou2013 at 2015-06-14 19:11:40
嘿嘿,不是,我做的是铁单质金属膜,采用的是直流磁控溅射,强磁靶头,本底真空度1.5e-3 Pa,工作压强1 Pa,Ar气流量是30sccm,功率是70W,溅射了20min,靶基距9cm左右,我的靶头的倾斜角度是固定了,没法变,与基 ...

从楼主的工作参数看,膜厚应该很薄,不知道膜厚是多少。是不是膜厚太薄导致的,楼主有相关文献做参考吗?

[ 发自小木虫客户端 ]
6楼2015-06-15 07:14:47
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查看全部 9 个回答

wuyou2013

实习版主

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

请问磁控溅射磁性材料,靶头与基底之间需要距离多少?是得经过退火之后才能会有铁磁性么?
大家好!
2楼2015-06-14 12:31:53
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leongoall

无虫

P-M-I之初生牛犊

你做什么材料,用什么溅射条件等基本信息难道都是国家机密么?
趁年轻,多折腾!曾年轻,折腾过?!
3楼2015-06-14 18:57:15
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wuyou2013

兑换贵宾

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!

引用回帖:
3楼: Originally posted by leongoall at 2015-06-14 18:57:15
你做什么材料,用什么溅射条件等基本信息难道都是国家机密么?

嘿嘿,不是,我做的是铁单质金属膜,采用的是直流磁控溅射,强磁靶头,本底真空度1.5e-3 Pa,工作压强1 Pa,Ar气流量是30sccm,功率是70W,溅射了20min,靶基距9cm左右,我的靶头的倾斜角度是固定了,没法变,与基板夹角大概50度。初次发帖子,让大侠见笑了,哈哈!
大家好!
4楼2015-06-14 19:11:40
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