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wuyou2013

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[求助] 磁控溅射制备的铁单质薄膜的铁磁性很弱已有3人参与

如题，请问磁控溅射镀制磁性薄膜需要注意什么？

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薄膜制备与特性

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大家好！

1楼 2015-06-14 12:01:41

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wuyou2013

铁虫 (小有名气)

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请问磁控溅射磁性材料，靶头与基底之间需要距离多少？是得经过退火之后才能会有铁磁性么？

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大家好！

2楼2015-06-14 12:31:53

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leongoall

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你做什么材料，用什么溅射条件等基本信息难道都是国家机密么？

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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！

3楼2015-06-14 18:57:15

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wuyou2013

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引用回帖:

3楼: Originally posted by leongoall at 2015-06-14 18:57:15
你做什么材料，用什么溅射条件等基本信息难道都是国家机密么？

嘿嘿，不是，我做的是铁单质金属膜，采用的是直流磁控溅射，强磁靶头，本底真空度1.5e-3 Pa，工作压强1 Pa，Ar气流量是30sccm，功率是70W，溅射了20min，靶基距9cm左右，我的靶头的倾斜角度是固定了，没法变，与基板夹角大概50度。初次发帖子，让大侠见笑了，哈哈！

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大家好！

4楼2015-06-14 19:11:40

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wuyou2013

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我做出的铁单质的磁滞回线如图

wuyouCo1.jpg

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5楼2015-06-14 19:14:17

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Friend007

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【答案】应助回帖

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引用回帖:

4楼: Originally posted by wuyou2013 at 2015-06-14 19:11:40
嘿嘿，不是，我做的是铁单质金属膜，采用的是直流磁控溅射，强磁靶头，本底真空度1.5e-3 Pa，工作压强1 Pa，Ar气流量是30sccm，功率是70W，溅射了20min，靶基距9cm左右，我的靶头的倾斜角度是固定了，没法变，与基 ...

从楼主的工作参数看，膜厚应该很薄，不知道膜厚是多少。是不是膜厚太薄导致的，楼主有相关文献做参考吗？

[ 发自小木虫客户端 ]

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6楼2015-06-15 07:14:47

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