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evanbossccp木虫 (正式写手)
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RF磁控溅射镀氧化铝（Al2O3）薄膜，显微镜观察有严重缺陷，如何解决？
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用RF磁控溅射法镀氧化铝（Al2O3）薄膜，显微镜观察，薄膜表面存在严重缺陷，缺陷呈规律状的圆形，有的没有开裂和脱落，有的开裂和脱落了，请问大神们，这是什么原因造成的？要如何解决呢？ 我们采用Al2O3陶瓷靶，本底真空2.0E-3Pa，镀膜工艺参数：100W，0.9Pa，Ar流量15sccm，O2流量5sccm，靶基距90mm，镀膜时间约90min  ９Ｂ３－０１004.jpg  ９Ｂ４－０１001.jpg  ９Ｂ４－０１008.jpg  ９Ｂ４－０１013.jpg |
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