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evanbossccp

木虫 (正式写手)

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[求助] RF磁控溅射镀氧化铝（Al2O3）薄膜，显微镜观察有严重缺陷，如何解决？

用RF磁控溅射法镀氧化铝（Al2O3）薄膜，显微镜观察，薄膜表面存在严重缺陷，缺陷呈规律状的圆形，有的没有开裂和脱落，有的开裂和脱落了，请问大神们，这是什么原因造成的？要如何解决呢？

我们采用Al2O3陶瓷靶，本底真空2.0E-3Pa，镀膜工艺参数：100W，0.9Pa，Ar流量15sccm，O2流量5sccm，靶基距90mm，镀膜时间约90min

RF磁控溅射镀氧化铝（Al2O3）薄膜，显微镜观察有严重缺陷，如何解决？

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RF磁控溅射镀氧化铝（Al2O3）薄膜，显微镜观察有严重缺陷，如何解决？-1

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学而优在商，商而优在仕，仕而优在教

1楼 2015-05-28 10:35:30

已阅关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

智能机器人

Robot (super robot)

我们都爱小木虫

找到一些相关的精华帖子，希望有用哦~

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