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tudou33

禁虫 (初入文坛)

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反应磁控溅射

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TiAlSiN涂层

金虫 (小有名气)

我也是做磁控溅射的,只不过我研究氮化物,有时候也做出彩色的薄膜,老师说正常,你那就不知道啦,多看看文献吧
生命不息...
2楼2012-11-20 08:24:24
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wangya705

禁虫 (小有名气)

感谢参与,应助指数 +1
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3楼2012-11-20 11:18:26
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tudou33

禁虫 (初入文坛)

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4楼2012-11-20 21:24:49
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wangya705

禁虫 (小有名气)

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5楼2012-11-21 18:54:15
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dxf930

金虫 (正式写手)

彩色是溅射厚度不均匀造成的吧!每台仪器的靶材表面积不一样,沉积速率不一样,所以别人的功率也没有用。掌握好自己的设备,自己摸工艺吧
收获的日子早一天也是不行的!等待...追求...
6楼2012-11-26 13:01:57
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tudou33

禁虫 (初入文坛)

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7楼2013-03-05 16:46:05
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tudou33

禁虫 (初入文坛)

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8楼2013-03-05 16:54:48
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hustimr

木虫 (小有名气)

我现在也正在做!氧铝比率1sccm:10sccm,溅射气压0.6Pa,功率200W,溅射时间长了还能显示蓝色,时间短的话是透明的!今天看到导师从香港带回来的样品,氩氧5sccm:10sccm,靶基距400mm,太让我意外了!虽然仪器有差别,但是参数太离谱了!
9楼2014-02-18 19:47:46
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玩儿的够好

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
9楼: Originally posted by hustimr at 2014-02-18 19:47:46
我现在也正在做!氧铝比率1sccm:10sccm,溅射气压0.6Pa,功率200W,溅射时间长了还能显示蓝色,时间短的话是透明的!今天看到导师从香港带回来的样品,氩氧5sccm:10sccm,靶基距400mm,太让我意外了!虽然仪器有差别, ...

请问一下,你那边做的氧化铝薄膜效果怎么样?
10楼2016-01-18 09:48:03
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