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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 腐蚀防护 » 有没有童鞋做磁控溅射反应溅射镀氧化铝的？
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tudou33

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反应磁控溅射

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1楼2012-11-19 17:02:26
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TiAlSiN涂层

金虫 (小有名气)
我也是做磁控溅射的，只不过我研究氮化物，有时候也做出彩色的薄膜，老师说正常，你那就不知道啦，多看看文献吧
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生命不息...
2楼2012-11-20 08:24:24
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wangya705

禁虫 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
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3楼2012-11-20 11:18:26
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tudou33

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4楼2012-11-20 21:24:49
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wangya705

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5楼2012-11-21 18:54:15
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dxf930

金虫 (正式写手)
彩色是溅射厚度不均匀造成的吧！每台仪器的靶材表面积不一样，沉积速率不一样，所以别人的功率也没有用。掌握好自己的设备，自己摸工艺吧
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收获的日子早一天也是不行的!等待...追求...
6楼2012-11-26 13:01:57
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tudou33

禁虫 (初入文坛)
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7楼2013-03-05 16:46:05
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tudou33

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8楼2013-03-05 16:54:48
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hustimr

木虫 (小有名气)
我现在也正在做！氧铝比率1sccm:10sccm,溅射气压0.6Pa,功率200W，溅射时间长了还能显示蓝色，时间短的话是透明的！今天看到导师从香港带回来的样品，氩氧5sccm:10sccm，靶基距400mm，太让我意外了！虽然仪器有差别，但是参数太离谱了！
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9楼2014-02-18 19:47:46
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玩儿的够好

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by hustimr at 2014-02-18 19:47:46
我现在也正在做！氧铝比率1sccm:10sccm,溅射气压0.6Pa,功率200W，溅射时间长了还能显示蓝色，时间短的话是透明的！今天看到导师从香港带回来的样品，氩氧5sccm:10sccm，靶基距400mm，太让我意外了！虽然仪器有差别， ...

请问一下，你那边做的氧化铝薄膜效果怎么样？
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10楼2016-01-18 09:48:03
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