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tudou33

禁虫 (初入文坛)
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反应磁控溅射

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1楼 2012-11-19 17:02:26
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hustimr

木虫 (小有名气)
我现在也正在做！氧铝比率1sccm:10sccm,溅射气压0.6Pa,功率200W，溅射时间长了还能显示蓝色，时间短的话是透明的！今天看到导师从香港带回来的样品，氩氧5sccm:10sccm，靶基距400mm，太让我意外了！虽然仪器有差别，但是参数太离谱了！
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9楼2014-02-18 19:47:46
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TiAlSiN涂层

金虫 (小有名气)
我也是做磁控溅射的，只不过我研究氮化物，有时候也做出彩色的薄膜，老师说正常，你那就不知道啦，多看看文献吧
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生命不息...
2楼2012-11-20 08:24:24
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wangya705

禁虫 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
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3楼2012-11-20 11:18:26
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tudou33

禁虫 (初入文坛)
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4楼2012-11-20 21:24:49
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