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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 硅片湿法腐蚀背面保护问题
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就是你了，ok

银虫 (初入文坛)

[求助] 硅片湿法腐蚀背面保护问题已有1人参与

大家好，最近遇到个比较棘手的问题，光刻完进行湿法腐蚀，用的TMAH溶液，腐蚀双面，但需分开腐蚀，腐蚀一面时另一面需要保护起来，有什么好的方法进行保护吗，要求耐强碱，耐130度高温，谢谢帮助！
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1楼2015-04-01 11:28:31
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

买酒白云边

金虫 (知名作家)
我不卖，看来大家都不相信有助人为乐者，好吧芬姐好人真心做不得

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6楼2015-04-03 19:19:46
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perry_ping

新虫 (著名写手)
提前做掩层，二氧化硅或者氮化硅

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7楼2015-04-17 14:50:31
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买酒白云边

金虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
就是你了，ok: 金币+1, ★有帮助 2015-04-02 16:50:13
就是你了，ok: 金币+4 2015-04-02 16:50:28
小黑白hun: 金币+1, 非常给力的应助 2015-04-03 09:20:04
我有个胶布抗硫酸盐酸烧碱，抗100度高温，130度没实验过，不知道你合不合用

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2楼2015-04-01 12:19:35
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就是你了，ok

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 买酒白云边 at 2015-04-01 12:19:35
我有个胶布抗硫酸盐酸烧碱，抗100度高温，130度没实验过，不知道你合不合用

硅片上面的悬臂梁部分已经腐蚀的特别薄，只有10微米左右，用胶布估计揭下来的时候会把梁损坏
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3楼2015-04-02 16:52:22
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买酒白云边

金虫 (知名作家)
贴上去不断就好弄了
拆的时候拿合适的有机溶剂全部化骨绵掌的化掉
我觉得可以搞一把

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4楼2015-04-02 20:09:44
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就是你了，ok

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 买酒白云边 at 2015-04-02 20:09:44
贴上去不断就好弄了
拆的时候拿合适的有机溶剂全部化骨绵掌的化掉
我觉得可以搞一把

有机溶剂能化掉？你是卖这个的？
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5楼2015-04-03 09:32:36
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我的芝麻

木虫 (小有名气)
★ ★
明亮的眼眸: 金币+2, 欢迎常来工艺技术板块交流 期待你更多精彩回帖~~O(∩_∩)O 2015-11-25 15:40:23
请问你的硅片是完整的晶圆？如果是完整的，可以用专门的湿法腐蚀保护夹具，一般是聚四氟乙烯做的，很耐高温和强酸碱的，我之前做硅腐蚀时也有用过，效果还不错
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用心做好一件事
8楼2015-11-25 10:33:21
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dxozw

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 买酒白云边 at 2015-04-01 12:19:35
我有个胶布抗硫酸盐酸烧碱，抗100度高温，130度没实验过，不知道你合不合用

你好，请问是什么胶布？？？我做腐蚀也需要背面保护，但是背面又不能溅射其他保护层了
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9楼2016-03-08 11:04:51
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买酒白云边

金虫 (知名作家)
引用回帖:
9楼: Originally posted by dxozw at 2016-03-08 11:04:51
你好，请问是什么胶布？？？我做腐蚀也需要背面保护，但是背面又不能溅射其他保护层了...

南京占一，虽然态度不好但是东西还是过硬的

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人造金刚石及其制品And周边设备
10楼2016-03-26 11:22:08
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