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mikeekeyou铜虫 (小有名气)
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向大家请教一个关于硅的湿法腐蚀的相关问题。。 已有1人参与
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| 最近做单晶硅的湿法腐蚀，遇到一个问题请教大家，请问有没有一种或几种合适的腐蚀溶液，能只对硅进行各向同性的腐蚀，而不会对硅旁边的氧化硅和掩膜材料光刻胶有腐蚀呢？？实验紧急，请大家指教啊。。。 |
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