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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 物理化学 » 向大家请教一个关于硅的湿法腐蚀的相关问题。。
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mikeekeyou

铜虫 (小有名气)

[求助] 向大家请教一个关于硅的湿法腐蚀的相关问题。。已有1人参与

最近做单晶硅的湿法腐蚀，遇到一个问题请教大家，请问有没有一种或几种合适的腐蚀溶液，能只对硅进行各向同性的腐蚀，而不会对硅旁边的氧化硅和掩膜材料光刻胶有腐蚀呢？？实验紧急，请大家指教啊。。。
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1楼2013-10-19 10:46:45
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静

【答案】应助回帖

★ ★
mikeekeyou: 金币+2, ★有帮助 2013-10-25 08:23:05
这个估计比较难，我们平常使用KOH腐蚀硅的吧。

koh的haunted是腐蚀光刻胶的，幽幽子红进口的光刻胶是抗KOH，的proteck的光刻胶，但是还是比较贵的，
而且要进口。

锐材半导体
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15501697107
2楼2013-10-23 18:07:30
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静

【答案】应助回帖

有进口的一种光刻胶,型号是proteck.
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15501697107
3楼2013-10-23 18:08:37
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mikeekeyou

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 静静一yi at 2013-10-23 18:07:30
这个估计比较难，我们平常使用KOH腐蚀硅的吧。

koh的haunted是腐蚀光刻胶的，幽幽子红进口的光刻胶是抗KOH，的proteck的光刻胶，但是还是比较贵的，
而且要进口。

锐材半导体

但好像KOH对Si的腐蚀是各项异性的哦。。。
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4楼2013-10-25 08:23:48
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学子昌

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

楼主找到方法了吗？我最近也在找硅的各向同性刻蚀，需要刻蚀深度为10um 的孔，溶液肯定是用HF和HNO3了，但是考虑到光刻胶可能脱落，所以反应速率需要快，但是溶液具体浓度怎么配还没摸索清楚，楼主有更好的方法吗？
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5楼2014-11-18 19:09:51
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