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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 物理化学 » 向大家请教一个关于硅的湿法腐蚀的相关问题。。
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mikeekeyou

铜虫 (小有名气)

[求助] 向大家请教一个关于硅的湿法腐蚀的相关问题。。已有1人参与

最近做单晶硅的湿法腐蚀，遇到一个问题请教大家，请问有没有一种或几种合适的腐蚀溶液，能只对硅进行各向同性的腐蚀，而不会对硅旁边的氧化硅和掩膜材料光刻胶有腐蚀呢？？实验紧急，请大家指教啊。。。
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1楼2013-10-19 10:46:45
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静静一yi

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静静

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静静一yi

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静静

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★ ★
mikeekeyou: 金币+2, ★有帮助 2013-10-25 08:23:05

mikeekeyou

铜虫 (小有名气)

学子昌

新虫 (初入文坛)

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