应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 物理化学 » 向大家请教一个关于硅的湿法腐蚀的相关问题。。
31/1返回列表
查看: 1535  |  回复: 4
查看全部回帖@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

mikeekeyou

铜虫 (小有名气)

[求助] 向大家请教一个关于硅的湿法腐蚀的相关问题。。已有1人参与

最近做单晶硅的湿法腐蚀，遇到一个问题请教大家，请问有没有一种或几种合适的腐蚀溶液，能只对硅进行各向同性的腐蚀，而不会对硅旁边的氧化硅和掩膜材料光刻胶有腐蚀呢？？实验紧急，请大家指教啊。。。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼2013-10-19 10:46:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mikeekeyou

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 静静一yi at 2013-10-23 18:07:30
这个估计比较难，我们平常使用KOH腐蚀硅的吧。

koh的haunted是腐蚀光刻胶的，幽幽子红进口的光刻胶是抗KOH，的proteck的光刻胶，但是还是比较贵的，
而且要进口。

锐材半导体

但好像KOH对Si的腐蚀是各项异性的哦。。。
赞一下 回复此楼
4楼2013-10-25 08:23:48
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 mikeekeyou 的主题更新
31/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭