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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 硅片湿法腐蚀背面保护问题
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新虫 (小有名气)
需要光刻胶可以联系我 国内自主研发

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11楼2017-04-08 10:56:17
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
可以用protek，但是那玩意非常贵，很少有用得起的，一瓶小四万吧。
实在不行，找个能做无H氮化硅的PECVD，把先腐蚀的那面再重新钝化吧。
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12楼2017-04-13 15:55:35
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