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硅片湿法腐蚀背面保护问题已有1人参与
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| 大家好，最近遇到个比较棘手的问题，光刻完进行湿法腐蚀，用的TMAH溶液，腐蚀双面，但需分开腐蚀，腐蚀一面时另一面需要保护起来，有什么好的方法进行保护吗，要求耐强碱，耐130度高温，谢谢帮助！ |
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