应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 硅片湿法腐蚀背面保护问题
121/2返回列表12下一页
查看: 2130  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

就是你了，ok

银虫 (初入文坛)

[求助] 硅片湿法腐蚀背面保护问题 已有1人参与

大家好，最近遇到个比较棘手的问题，光刻完进行湿法腐蚀，用的TMAH溶液，腐蚀双面，但需分开腐蚀，腐蚀一面时另一面需要保护起来，有什么好的方法进行保护吗，要求耐强碱，耐130度高温，谢谢帮助！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-04-01 11:28:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

买酒白云边

金虫 (知名作家)
我不卖，看来大家都不相信有助人为乐者，好吧芬姐好人真心做不得

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下(1人) 回复此楼
人造金刚石及其制品And周边设备
6楼2015-04-03 19:19:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

perry_ping

新虫 (职业作家)
提前做掩层，二氧化硅或者氮化硅

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下(1人) 回复此楼
7楼2015-04-17 14:50:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

买酒白云边

金虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
就是你了，ok: 金币+1, ★有帮助 2015-04-02 16:50:13
就是你了，ok: 金币+4 2015-04-02 16:50:28
小黑白hun: 金币+1, 非常给力的应助 2015-04-03 09:20:04
我有个胶布抗硫酸盐酸烧碱，抗100度高温，130度没实验过，不知道你合不合用

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
人造金刚石及其制品And周边设备
2楼2015-04-01 12:19:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

就是你了，ok

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 买酒白云边 at 2015-04-01 12:19:35
我有个胶布抗硫酸盐酸烧碱，抗100度高温，130度没实验过，不知道你合不合用

硅片上面的悬臂梁部分已经腐蚀的特别薄，只有10微米左右，用胶布估计揭下来的时候会把梁损坏
赞一下 回复此楼
3楼2015-04-02 16:52:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

买酒白云边

金虫 (知名作家)
贴上去不断就好弄了
拆的时候拿合适的有机溶剂全部化骨绵掌的化掉
我觉得可以搞一把

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
人造金刚石及其制品And周边设备
4楼2015-04-02 20:09:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

就是你了，ok

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 买酒白云边 at 2015-04-02 20:09:44
贴上去不断就好弄了
拆的时候拿合适的有机溶剂全部化骨绵掌的化掉
我觉得可以搞一把

有机溶剂能化掉？你是卖这个的？
赞一下 回复此楼
5楼2015-04-03 09:32:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

我的芝麻

木虫 (小有名气)
★ ★
明亮的眼眸: 金币+2, 欢迎常来工艺技术板块交流 期待你更多精彩回帖~~O(∩_∩)O 2015-11-25 15:40:23
请问你的硅片是完整的晶圆？如果是完整的，可以用专门的湿法腐蚀保护夹具，一般是聚四氟乙烯做的，很耐高温和强酸碱的，我之前做硅腐蚀时也有用过，效果还不错
赞一下 回复此楼
用心做好一件事
8楼2015-11-25 10:33:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dxozw

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 买酒白云边 at 2015-04-01 12:19:35
我有个胶布抗硫酸盐酸烧碱，抗100度高温，130度没实验过，不知道你合不合用

你好，请问是什么胶布？？？我做腐蚀也需要背面保护，但是背面又不能溅射其他保护层了
赞一下 回复此楼
9楼2016-03-08 11:04:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

买酒白云边

金虫 (知名作家)
引用回帖:
9楼: Originally posted by dxozw at 2016-03-08 11:04:51
你好，请问是什么胶布？？？我做腐蚀也需要背面保护，但是背面又不能溅射其他保护层了...

南京占一，虽然态度不好但是东西还是过硬的

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
人造金刚石及其制品And周边设备
10楼2016-03-26 11:22:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 就是你了，ok 的主题更新
121/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 286求调剂 +3 lemonzzn 2026-03-16 5/250 2026-03-16 20:43 by lemonzzn
[考研] 328求调剂，英语六级551，有科研经历 +3 生物工程调剂 2026-03-16 4/200 2026-03-16 20:13 by Wangjingyue
[考博] 东华理工大学化材专业26届硕士博士申请 +6 zlingli 2026-03-13 6/300 2026-03-15 20:00 by ryzcf
[考研] 080500，材料学硕302分求调剂学校 +4 初识可乐 2026-03-14 5/250 2026-03-14 21:08 by peike
[考研] 一志愿哈工大材料324分求调剂 +5 闫旭东 2026-03-14 5/250 2026-03-14 14:53 by 木瓜膏
[考研] 材料与化工（0856）304求B区调剂 +7 邱gl 2026-03-10 11/550 2026-03-14 12:18 by 邱gl
[考研] 调剂 +3 13853210211 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:47 by JourneyLucky
[考研] 招收0805（材料）调剂 +3 18595523086 2026-03-13 3/150 2026-03-14 00:33 by 123%、
[考研] 0805，333求调剂 +3 112253525 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:42 by JourneyLucky
[考研] 341求调剂 +4 番茄头--- 2026-03-10 4/200 2026-03-13 23:12 by JourneyLucky
[考研] 332求调剂 +3 zjy101327 2026-03-11 6/300 2026-03-13 22:48 by JourneyLucky
[考研] 0703化学调剂 +4 快乐的香蕉 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:41 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工085600调剂求老师收留 +9 jiaanl 2026-03-11 9/450 2026-03-13 20:22 by JourneyLucky
[考研] 301求调剂 +6 Liyouyumairs 2026-03-11 6/300 2026-03-13 20:11 by JourneyLucky
[考研] 289求调剂 +3 李政莹 2026-03-12 3/150 2026-03-13 11:02 by 求调剂zz
[考研] 化工学硕306求调剂 +9 42838695 2026-03-12 9/450 2026-03-13 10:16 by houyaoxu
[考研] 0857环境调剂 +5 熠熠_11 2026-03-10 5/250 2026-03-11 10:59 by wang_dand
[考研] 大连大学化学专业研究生调剂 +3 琪久. 2026-03-10 8/400 2026-03-11 10:02 by 琪久.
[考研] 279求调剂 +3 莫xiao 2026-03-10 4/200 2026-03-11 08:06 by 斩魂滴兔子！
[考研] 求调剂材料专硕293 +6 段_(:з」∠)_ 2026-03-10 6/300 2026-03-10 18:22 by ms629
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭