| 查看: 1914 | 回复: 6 | ||
[求助]
MEMS技术刻蚀硅片，由于实验室条件简陋 已有2人参与
|
|
MEMS技术刻蚀硅片，制备一悬臂梁结构的微加热器。由于实验室条件简陋，只能用一层SiO2作为悬臂梁的支撑梁。该支撑梁是在1000℃干氧Si片制备的，时间是36h。 我主要有两个问题：1，只用一层SiO2作为悬臂梁可行否。刻蚀Si是用的KOH刻蚀液（实验室条件有限，只有热蒸发跟磁控溅射）。因为我也知道从KOH刻蚀液中取出非常困难。 2，什么材料可以作为正面的掩膜抵挡KOH溶液的腐蚀（正面是用的Cr作为加热丝）。 3，还有没有更好的思路~~~~  |
回复此楼» 猜你喜欢
青基评阅意见打分，未中
已经有9人回复
-
哈尔滨工程大学动力学院赵建辉团队招收2026博士研究生
已经有10人回复
-
电气科学与工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有139人回复
-
哈尔滨工程大学动力学院赵建辉团队招收2026博士研究生
已经有10人回复
-
浙江大学机械工程学院党超群课题组招收博士研究生
已经有0人回复
-
卢森堡大学拟招收2026博士生一名，CSC渠道， 协助完成研修计划
已经有0人回复
-
英国贝尔法斯特女王大学 良心导师CSC招生 复合材料制造方向
已经有1人回复
-
卢森堡大学拟招收2026博士生一名，CSC渠道， 协助完成研修计划
已经有0人回复
-
华北电力大学王鹏课题组诚招博士/硕士
已经有3人回复
-
东北大学2026级申请考核制博士招生（安全工程、矿业工程、通风、能源动力等方向）
已经有19人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- TMAH腐蚀硅片时保护硅片表面的铝电极
已经有8人回复
- 硅 湿法刻蚀 掩膜
已经有11人回复
- SF6刻蚀硅片,可以用什么金属做掩膜？
已经有10人回复
- DPN（Dip Pen Nanolithography）浸蘸笔纳米加工刻蚀技术
已经有61人回复
- 氢氟酸刻蚀二氧化硅的反应条件
已经有10人回复
- 湿法刻蚀硅片和铝箔用什么做掩膜比较好？
已经有4人回复
- 硅片湿法刻蚀 怎么刻蚀不上啊？求救
已经有11人回复
- 可以用负胶做掩模刻蚀氮化硅吗？
已经有7人回复
- 多晶硅、单晶硅、薄膜硅、非晶硅表面刻蚀技术
已经有3人回复
- 【求助】氢氟酸刻蚀硅片，粗糙度是怎么变化的啊？
已经有16人回复
- 【求助】硅片刻蚀
已经有4人回复
- 【请教】硅片的清洗
已经有59人回复
- 【求助】关于湿法刻蚀
已经有17人回复
 |
2楼2013-12-16 12:44:10
3楼2013-12-16 15:44:59
4楼2013-12-16 16:16:01
314977903 
版主 (职业作家)
小风子
- 应助: 161 (高中生)
- 贵宾: 0.152
- 金币: 14189.3
- 散金: 5787
- 红花: 39
- 沙发: 32
- 帖子: 4586
- 在线: 902.7小时
- 虫号: 1204391
- 注册: 2011-02-16
- 性别: GG
- 专业: 金属功能材料
- 管辖: 材料工程
5楼2013-12-17 08:30:19
|
本帖内容被屏蔽 |
6楼2014-03-10 17:36:35
luojiandong
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1114.5
- 红花: 1
- 帖子: 243
- 在线: 42.1小时
- 虫号: 1181840
- 注册: 2011-01-01
- 性别: GG
- 专业: 同步辐射技术及其应用
7楼2014-03-11 22:07:16