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zxm5758

新虫 (小有名气)


[交流] 【求助】硅片刻蚀

大家好,我想在硅片中间刻一个方形或者圆形的洞,方便测试,就是想在硅片中间弄出一个规则的方形或者圆形的洞,我这里有激光打标机,不过由于功率太小,打不穿硅片,然后稍使点劲,整个硅片就会破碎,有没有好的办法

谢谢大家啦
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huangyew

木虫 (正式写手)


多大的洞?
2楼2010-12-14 19:20:43
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huangyew

木虫 (正式写手)


建议:用纸片或别的东西裁成你要的尺寸,放在硅片上你要打洞的地方,然后去镀上一层硅的氮化物或者氧化物,(看你的情况,镀双面还是单面),镀完膜后,被遮住的部分没有硅的氮化物或者氧化物,用硝酸腐蚀,大概一分钟过一点,硅片就刻蚀出你想要的洞的大小了。
3楼2010-12-14 20:27:05
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yingoulixi

银虫 (初入文坛)


如果你有RIE刻蚀机可以用的话,那就用个软聚合物做掩板去刻蚀吧,可能会久一点,不过会很规则
4楼2010-12-14 23:16:50
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ciompman

铁杆木虫 (职业作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
用反应离子束刻蚀方法,先通过光刻的方法做出小洞,然后再RIE刻蚀。但看楼主的意思可能要求不是很严格呢
5楼2012-10-15 09:47:35
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