应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】硅片刻蚀
51/1返回列表
查看: 1776  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

zxm5758

新虫 (小有名气)

[交流] 【求助】硅片刻蚀

大家好，我想在硅片中间刻一个方形或者圆形的洞，方便测试，就是想在硅片中间弄出一个规则的方形或者圆形的洞，我这里有激光打标机，不过由于功率太小，打不穿硅片，然后稍使点劲，整个硅片就会破碎，有没有好的办法

谢谢大家啦
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2010-12-13 11:31:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huangyew

木虫 (正式写手)
多大的洞？
回复此楼
2楼2010-12-14 19:20:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huangyew

木虫 (正式写手)
建议：用纸片或别的东西裁成你要的尺寸，放在硅片上你要打洞的地方，然后去镀上一层硅的氮化物或者氧化物，（看你的情况，镀双面还是单面），镀完膜后，被遮住的部分没有硅的氮化物或者氧化物，用硝酸腐蚀，大概一分钟过一点，硅片就刻蚀出你想要的洞的大小了。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2010-12-14 20:27:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yingoulixi

银虫 (初入文坛)
如果你有RIE刻蚀机可以用的话，那就用个软聚合物做掩板去刻蚀吧，可能会久一点，不过会很规则
赞一下 回复此楼
4楼2010-12-14 23:16:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ciompman

铁杆木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
用反应离子束刻蚀方法，先通过光刻的方法做出小洞，然后再RIE刻蚀。但看楼主的意思可能要求不是很严格呢
赞一下 回复此楼
5楼2012-10-15 09:47:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 zxm5758 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭