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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【求助】硅纳米线transistor
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FANYU

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】硅纳米线transistor 已有14人参与

请问有人用硅纳米线作过FET么？为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电？我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的，钛金厚度是70/80纳米。

谢谢
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1楼 2010-08-25 17:29:12
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lostpast

铁虫 (小有名气)
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Originally posted by FANYU at 2010-08-25 17:29:12:
请问有人用硅纳米线作过FET么？为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电？我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的，钛金厚度是70/80纳米。

谢谢

AgNO3和HF能在硅片上刻蚀硅纳米线，太牛了。哪个大牛发明的？
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2楼2010-08-25 18:53:47
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manuscript

金虫 (正式写手)
★
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这个问题关注中...
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3楼2010-08-25 20:52:22
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FANYU

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by FANYU at 2010-08-25 17:29:12:
请问有人用硅纳米线作过FET么？为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电？我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的，钛金厚度是70/80纳米。

谢谢

-_-!哥们学哪行的，这方法是几年前报道的了。
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4楼2010-08-26 09:39:16
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315050870lk

捐助贵宾 (小有名气)
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5楼2010-08-26 09:44:42
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linyj632

金虫 (小有名气)
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Originally posted by lostpast at 2010-08-25 18:53:47:

AgNO3和HF能在硅片上刻蚀硅纳米线，太牛了。哪个大牛发明的？

天啊，这个好像好几年就有的吗？
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6楼2010-08-26 10:00:09
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FANYU

新虫 (初入文坛)
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Originally posted by linyj632 at 2010-08-26 10:00:09:


天啊，这个好像好几年就有的吗？

晕，你可以去查一下，02年还是04年北大一个组发在adv material上的。
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7楼2010-08-26 10:03:35
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lostpast

铁虫 (小有名气)
★
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Originally posted by FANYU at 2010-08-26 10:03:35:

晕，你可以去查一下，02年还是04年北大一个组发在adv material上的。

北大俞大鹏老师课题组吗？
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8楼2010-08-26 11:30:32
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FANYU

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by lostpast at 2010-08-26 11:30:32:

北大俞大鹏老师课题组吗？

这倒不记得了，只记得是北大的一个组。
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9楼2010-08-26 11:41:49
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lostpast

铁虫 (小有名气)
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Originally posted by FANYU at 2010-08-26 11:41:49:

这倒不记得了，只记得是北大的一个组。

服了你了！
呵呵
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10楼2010-08-26 11:52:09
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