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【求助】硅纳米线transistor
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FANYU
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【求助】硅纳米线transistor
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请问有人用硅纳米线作过FET么?为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电?我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的,钛金厚度是70/80纳米。
谢谢
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2010-08-25 17:29:12
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Originally posted by
FANYU
at 2010-08-25 17:29:12:
请问有人用硅纳米线作过FET么?为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电?我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的,钛金厚度是70/80纳米。
谢谢
AgNO3和HF能在硅片上刻蚀硅纳米线,太牛了。哪个大牛发明的?
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2010-08-25 18:53:47
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2010-08-25 20:52:22
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Originally posted by
FANYU
at 2010-08-25 17:29:12:
请问有人用硅纳米线作过FET么?为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电?我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的,钛金厚度是70/80纳米。
谢谢
-_-!哥们学哪行的,这方法是几年前报道的了。
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2010-08-26 09:39:16
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lostpast
at 2010-08-25 18:53:47:
AgNO3和HF能在硅片上刻蚀硅纳米线,太牛了。哪个大牛发明的?
天啊,这个好像好几年就有的吗?
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2010-08-26 10:00:09
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linyj632
at 2010-08-26 10:00:09:
天啊,这个好像好几年就有的吗?
晕,你可以去查一下,02年还是04年北大一个组发在adv material上的。
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7楼
2010-08-26 10:03:35
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FANYU
at 2010-08-26 10:03:35:
晕,你可以去查一下,02年还是04年北大一个组发在adv material上的。
北大俞大鹏老师课题组吗?
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8楼
2010-08-26 11:30:32
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lostpast
at 2010-08-26 11:30:32:
北大俞大鹏老师课题组吗?
这倒不记得了,只记得是北大的一个组。
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9楼
2010-08-26 11:41:49
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at 2010-08-26 11:41:49:
这倒不记得了,只记得是北大的一个组。
服了你了!
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