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xiao7

银虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
Ag刻蚀,港城大李述汤组前几年搞过很多。
硅导电是不是太差了呀,万用表也就量到uA级吧,如果硅线太细,恐怕得到pA的电表才行。
11楼2010-08-26 13:03:37
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lostpast

铁虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by FANYU at 2010-08-26 10:03:35:

晕,你可以去查一下,02年还是04年北大一个组发在adv material上的。

查到了,是清华大学材料系朱静院士课题组2002年Kui
-Qing Peng发表的。跟北大没有什么关系

[ Last edited by lostpast on 2010-8-26 at 13:32 ]
12楼2010-08-26 13:27:18
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FANYU

新虫 (初入文坛)

[quote]Originally posted by lostpast at 2010-08-26 13:27:18:

查到了,是清华大学材料系朱静院士课题组2002年Kui
-Qing Peng发表的。跟北大没有什么关系

[ Last edited by lostpast on 2010-8-26 at 13:32 ] [/quote}
哦,对,好象是叫这个名字。是清华的呀,记错了。
13楼2010-08-26 15:52:35
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FANYU

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by xiao7 at 2010-08-26 13:03:37:
Ag刻蚀,港城大李述汤组前几年搞过很多。
硅导电是不是太差了呀,万用表也就量到uA级吧,如果硅线太细,恐怕得到pA的电表才行。

硅是掺杂过的,导电性不低。如果硅线太粗了作E-BEAM很难把硅线都盖住,这样的话contact的阻值会更高吧。
14楼2010-08-26 15:54:26
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dianziwei

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
有意思!!!
逆水行舟,不进则退!
15楼2010-08-28 10:31:27
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在自己的王国

铁杆木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
你用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的硅线应该是P型的,所以源漏电极应该用Au,或者为了提高电极粘附性用Ti/Au,但是Ti的厚度不应该太厚

[ Last edited by 在自己的王国 on 2010-8-28 at 10:55 ]
16楼2010-08-28 10:49:13
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FANYU

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by 在自己的王国 at 2010-08-28 10:49:13:
你用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的硅线应该是P型的,所以源漏电极应该用Au,或者为了提高电极粘附性用Ti/Au,但是Ti的厚度不应该太厚

[ Last edited by 在自己的王国 on 2010-8-28 at 10:55 ]

这个我也考虑过了,但是我看文献上的都是用很厚的Ti把纳米线盖住,再铺一层Au,因为annealing的时候Ti会和Si反应形成silicide提高接触性能。
17楼2010-08-30 09:57:37
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在自己的王国

铁杆木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by FANYU at 2010-08-30 09:57:37:

这个我也考虑过了,但是我看文献上的都是用很厚的Ti把纳米线盖住,再铺一层Au,因为annealing的时候Ti会和Si反应形成silicide提高接触性能。

这个我不太清楚,没看过相关的文献,不过P型硅线最好的欧姆接触金属应该是Au,我们这边做一般都是垫一层很薄的Ti以提高粘附性
18楼2010-08-30 10:25:54
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FANYU

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by 在自己的王国 at 2010-08-30 10:25:54:

这个我不太清楚,没看过相关的文献,不过P型硅线最好的欧姆接触金属应该是Au,我们这边做一般都是垫一层很薄的Ti以提高粘附性

呵呵,好的,谢谢了,那我把Ti铺薄点试试。
19楼2010-08-30 18:25:22
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FANYU

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by 在自己的王国 at 2010-08-30 10:25:54:

这个我不太清楚,没看过相关的文献,不过P型硅线最好的欧姆接触金属应该是Au,我们这边做一般都是垫一层很薄的Ti以提高粘附性

请问你们铺完金属之后粹火一般用多少度多久?
20楼2010-08-31 10:44:45
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