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【求助】硅纳米线transistor 已有14人参与
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请问有人用硅纳米线作过FET么？为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电？我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的，钛金厚度是70/80纳米。 谢谢 |
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 半导体器件 |
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dianziwei
金虫 (小有名气)
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- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
15楼2010-08-28 10:31:27