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FANYU

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】硅纳米线transistor 已有14人参与

请问有人用硅纳米线作过FET么?为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电?我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的,钛金厚度是70/80纳米。

谢谢
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在自己的王国

铁杆木虫 (正式写手)

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Originally posted by FANYU at 2010-08-30 09:57:37:

这个我也考虑过了,但是我看文献上的都是用很厚的Ti把纳米线盖住,再铺一层Au,因为annealing的时候Ti会和Si反应形成silicide提高接触性能。

这个我不太清楚,没看过相关的文献,不过P型硅线最好的欧姆接触金属应该是Au,我们这边做一般都是垫一层很薄的Ti以提高粘附性
18楼2010-08-30 10:25:54
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lostpast

铁虫 (小有名气)

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Originally posted by FANYU at 2010-08-25 17:29:12:
请问有人用硅纳米线作过FET么?为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电?我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的,钛金厚度是70/80纳米。

谢谢

AgNO3和HF能在硅片上刻蚀硅纳米线,太牛了。哪个大牛发明的?
2楼2010-08-25 18:53:47
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manuscript

金虫 (正式写手)

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这个问题关注中...
3楼2010-08-25 20:52:22
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FANYU

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by FANYU at 2010-08-25 17:29:12:
请问有人用硅纳米线作过FET么?为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电?我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的,钛金厚度是70/80纳米。

谢谢

-_-!哥们学哪行的,这方法是几年前报道的了。
4楼2010-08-26 09:39:16
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