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seebay6271

新虫 (小有名气)

★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
你看杨沛东的文章,p型硅用Pt,n型硅用Ag。。
Au能级在Si带隙中间。。。一般认为是缺陷能级,尽量避免用Au。max-planck institure of microstructure physics的senz在nature materials上发过一篇单纯讲硅线生长的文章,卖点就是不用Au做催化剂。。
引用回帖:
Originally posted by 在自己的王国 at 2010-08-30 10:25:54:

这个我不太清楚,没看过相关的文献,不过P型硅线最好的欧姆接触金属应该是Au,我们这边做一般都是垫一层很薄的Ti以提高粘附性

21楼2010-08-31 11:25:40
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seebay6271

新虫 (小有名气)

★
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-09 22:08:23
【用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的硅线应该是P型的】这个说法有问题,Peng Kuiqing的文献的应该了解到,腐蚀出来的硅线的掺杂类型明显是跟原始硅片的掺杂类型有关:n型硅片腐蚀出n型纳米线,p型硅腐蚀出p型纳米线。
引用回帖:
Originally posted by 在自己的王国 at 2010-08-28 10:49:13:
你用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的硅线应该是P型的,所以源漏电极应该用Au,或者为了提高电极粘附性用Ti/Au,但是Ti的厚度不应该太厚

[ Last edited by 在自己的王国 on 2010-8-28 at 10:55 ]

22楼2010-08-31 11:27:27
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haifeng0319

金虫 (正式写手)

JIAYOU !加油!
23楼2010-08-31 11:33:24
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FANYU

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by seebay6271 at 2010-08-31 11:25:40:
你看杨沛东的文章,p型硅用Pt,n型硅用Ag。。
Au能级在Si带隙中间。。。一般认为是缺陷能级,尽量避免用Au。max-planck institure of microstructure physics的senz在nature materials上发过一篇单纯讲硅线生长的 ...

那楼主的意思是铺一层薄薄的Ti再铺一层Pt?铺之前硅纳米线要不要经过处理比如说HF洗什么的?谢谢。
24楼2010-08-31 13:42:31
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icytide

铁虫 (初入文坛)

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nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-09 22:08:34
我好像也得到不导电的结果。我是用AgNO3+HF的方法etch heavily doped silicon wafer,然后试着测量了一下表面导电性,结果极差!

我认为原因可能是此法做出的silicon nanowire很细,本身径向导电性就不好。再加上表面氧化得厉害,就完全不导电啦。

lz试试在做contact前先用HF etch一下,看会如何。
25楼2010-08-31 13:57:43
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FANYU

新虫 (初入文坛)

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nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-09 22:08:42
引用回帖:
Originally posted by icytide at 2010-08-31 13:57:43:
我好像也得到不导电的结果。我是用AgNO3+HF的方法etch heavily doped silicon wafer,然后试着测量了一下表面导电性,结果极差!

我认为原因可能是此法做出的silicon nanowire很细,本身径向导电性就不好。再加 ...

呵呵,其实我觉得纳米线细不是主要问题,因为我作出来的硅纳米线大多都在100nm以上,但也大多不导电。样品里面有几个是导电的,我看了看还都是线比较细的,再不行的话我真得拿去做一做conducting AFM,测测单根线导电性,之前导师让我做做看是不是纳米线的问题,我觉得应该不会就没做。
26楼2010-08-31 14:43:25
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hitian88

铜虫 (小有名气)

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你导电性是如何测的?最大量程多大?
单根纳米线TFT的电流本来就应该很小,你测不出来应该正常吧。可以先测测性能。
27楼2010-09-03 16:15:11
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FANYU

新虫 (初入文坛)

★
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-09 22:08:52
引用回帖:
Originally posted by hitian88 at 2010-09-03 16:15:11:
你导电性是如何测的?最大量程多大?
单根纳米线TFT的电流本来就应该很小,你测不出来应该正常吧。可以先测测性能。

我是把单根纳米线两端压上电极之后用电压表压在两个电极上测,结果测不到阻值,跟没有一样。专门测Transistor的设备也试过了,一样测不到电流,对gate电压没响应。
28楼2010-09-08 10:33:25
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hitian88

铜虫 (小有名气)

★
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看电镜没有???正常吗?
最好看下电镜,看是不是那样。至于加gate没有反应,这个就麻烦了。可能是栅没有做好,漏电。
29楼2010-09-09 19:43:15
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FANYU

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by hitian88 at 2010-09-09 19:43:15:
看电镜没有???正常吗?
最好看下电镜,看是不是那样。至于加gate没有反应,这个就麻烦了。可能是栅没有做好,漏电。

用AFM扫过,看上去没啥问题,也没断,主要问题就是测不到电流。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

30楼2010-09-10 12:20:56
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