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FANYU

新虫 (初入文坛)

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[交流] 【求助】硅纳米线transistor 已有14人参与

请问有人用硅纳米线作过FET么？为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电？我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的，钛金厚度是70/80纳米。

谢谢

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1楼 2010-08-25 17:29:12

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seebay6271

新虫 (小有名气)

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★
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-09 22:08:23

【用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的硅线应该是P型的】这个说法有问题，Peng Kuiqing的文献的应该了解到，腐蚀出来的硅线的掺杂类型明显是跟原始硅片的掺杂类型有关：n型硅片腐蚀出n型纳米线，p型硅腐蚀出p型纳米线。

引用回帖:

Originally posted by 在自己的王国 at 2010-08-28 10:49:13:
你用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的硅线应该是P型的，所以源漏电极应该用Au，或者为了提高电极粘附性用Ti/Au，但是Ti的厚度不应该太厚

[ Last edited by 在自己的王国 on 2010-8-28 at 10:55 ]

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22楼2010-08-31 11:27:27

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lostpast

铁虫 (小有名气)

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★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

引用回帖:

Originally posted by FANYU at 2010-08-25 17:29:12:
请问有人用硅纳米线作过FET么？为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电？我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的，钛金厚度是70/80纳米。

谢谢

AgNO3和HF能在硅片上刻蚀硅纳米线，太牛了。哪个大牛发明的？

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2楼2010-08-25 18:53:47

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