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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【求助】硅纳米线transistor
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FANYU

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】硅纳米线transistor 已有14人参与

请问有人用硅纳米线作过FET么？为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电？我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的，钛金厚度是70/80纳米。

谢谢
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1楼 2010-08-25 17:29:12
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seebay6271

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
你看杨沛东的文章，p型硅用Pt，n型硅用Ag。。
Au能级在Si带隙中间。。。一般认为是缺陷能级，尽量避免用Au。max-planck institure of microstructure physics的senz在nature materials上发过一篇单纯讲硅线生长的文章，卖点就是不用Au做催化剂。。
引用回帖:
Originally posted by 在自己的王国 at 2010-08-30 10:25:54:

这个我不太清楚，没看过相关的文献，不过P型硅线最好的欧姆接触金属应该是Au，我们这边做一般都是垫一层很薄的Ti以提高粘附性

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21楼2010-08-31 11:25:40
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lostpast

铁虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by FANYU at 2010-08-25 17:29:12:
请问有人用硅纳米线作过FET么？为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电？我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的，钛金厚度是70/80纳米。

谢谢

AgNO3和HF能在硅片上刻蚀硅纳米线，太牛了。哪个大牛发明的？
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2楼2010-08-25 18:53:47
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manuscript

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
这个问题关注中...
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3楼2010-08-25 20:52:22
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FANYU

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by FANYU at 2010-08-25 17:29:12:
请问有人用硅纳米线作过FET么？为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电？我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的，钛金厚度是70/80纳米。

谢谢

-_-!哥们学哪行的，这方法是几年前报道的了。
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4楼2010-08-26 09:39:16
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