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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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FANYU

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】硅纳米线transistor 已有14人参与

请问有人用硅纳米线作过FET么?为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电?我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的,钛金厚度是70/80纳米。

谢谢
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FANYU

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by hitian88 at 2010-09-09 19:43:15:
看电镜没有???正常吗?
最好看下电镜,看是不是那样。至于加gate没有反应,这个就麻烦了。可能是栅没有做好,漏电。

用AFM扫过,看上去没啥问题,也没断,主要问题就是测不到电流。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

30楼2010-09-10 12:20:56
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lostpast

铁虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by FANYU at 2010-08-25 17:29:12:
请问有人用硅纳米线作过FET么?为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电?我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的,钛金厚度是70/80纳米。

谢谢

AgNO3和HF能在硅片上刻蚀硅纳米线,太牛了。哪个大牛发明的?
2楼2010-08-25 18:53:47
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manuscript

金虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
这个问题关注中...
3楼2010-08-25 20:52:22
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FANYU

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by FANYU at 2010-08-25 17:29:12:
请问有人用硅纳米线作过FET么?为什么我用E-beam铺上钛和金作source/drain之后用万能表去量不导电?我的纳米线是用AgNO3和HF在硅片上刻蚀出来的,钛金厚度是70/80纳米。

谢谢

-_-!哥们学哪行的,这方法是几年前报道的了。
4楼2010-08-26 09:39:16
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