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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】硅片刻蚀
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zxm5758

新虫 (小有名气)

[交流] 【求助】硅片刻蚀

大家好，我想在硅片中间刻一个方形或者圆形的洞，方便测试，就是想在硅片中间弄出一个规则的方形或者圆形的洞，我这里有激光打标机，不过由于功率太小，打不穿硅片，然后稍使点劲，整个硅片就会破碎，有没有好的办法

谢谢大家啦
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1楼 2010-12-13 11:31:19
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huangyew

木虫 (正式写手)
多大的洞？
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2楼2010-12-14 19:20:43
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huangyew

木虫 (正式写手)
建议：用纸片或别的东西裁成你要的尺寸，放在硅片上你要打洞的地方，然后去镀上一层硅的氮化物或者氧化物，（看你的情况，镀双面还是单面），镀完膜后，被遮住的部分没有硅的氮化物或者氧化物，用硝酸腐蚀，大概一分钟过一点，硅片就刻蚀出你想要的洞的大小了。
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3楼2010-12-14 20:27:05
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yingoulixi

银虫 (初入文坛)
如果你有RIE刻蚀机可以用的话，那就用个软聚合物做掩板去刻蚀吧，可能会久一点，不过会很规则
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4楼2010-12-14 23:16:50
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ciompman

铁杆木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
用反应离子束刻蚀方法，先通过光刻的方法做出小洞，然后再RIE刻蚀。但看楼主的意思可能要求不是很严格呢
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5楼2012-10-15 09:47:35
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