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asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

[求助] 请问用银做掩膜可以刻蚀硅片吗

如题。在硅片上溅射银颗粒,想以此为掩模板对硅片进行刻蚀,气体为SF6(实验室只有这种),刻蚀选择比怎么样啊?如果用金颗粒,情况又如何呢?
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limeiyu53

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
应该用光刻胶,不应该用溅射银颗粒吧?这应该属于光刻吧,你懂光刻吗?
2楼2013-07-01 22:00:38
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asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by limeiyu53 at 2013-07-01 22:00:38
应该用光刻胶,不应该用溅射银颗粒吧?这应该属于光刻吧,你懂光刻吗?

我们没有光刻机器
3楼2013-07-02 08:54:31
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swrd168

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
asdfghjklt: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-12 09:17:49
我以前试过金颗粒,10nm蠕虫状不连续Au颗粒,作为掩膜刻蚀。SF6正好是刻蚀硅的气体,可以试试。
4楼2013-07-11 11:53:10
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