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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问用银做掩膜可以刻蚀硅片吗
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asdfghjklt

新虫 (初入文坛)

[求助] 请问用银做掩膜可以刻蚀硅片吗

如题。在硅片上溅射银颗粒，想以此为掩模板对硅片进行刻蚀，气体为SF6（实验室只有这种），刻蚀选择比怎么样啊？如果用金颗粒，情况又如何呢？
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1楼2013-07-01 16:56:11
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limeiyu53

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
应该用光刻胶，不应该用溅射银颗粒吧？这应该属于光刻吧，你懂光刻吗？
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2楼2013-07-01 22:00:38
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asdfghjklt

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by limeiyu53 at 2013-07-01 22:00:38
应该用光刻胶，不应该用溅射银颗粒吧？这应该属于光刻吧，你懂光刻吗？

我们没有光刻机器
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3楼2013-07-02 08:54:31
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swrd168

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
asdfghjklt: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-07-12 09:17:49
我以前试过金颗粒，10nm蠕虫状不连续Au颗粒，作为掩膜刻蚀。SF6正好是刻蚀硅的气体，可以试试。
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4楼2013-07-11 11:53:10
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