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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 腐蚀防护 » 在硅片上镀金之前对硅片进行表面清洗的若干问题求助
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倚风听雨

铁虫 (初入文坛)

[交流] 在硅片上镀金之前对硅片进行表面清洗的若干问题求助 已有5人参与

大家好，最近在做硅片上镀金的相关课题，查阅文献资料后，知道要做这些表面处理工作，但是在具体操作中有一些问题不太明白，就是各部分处理后怎么把硅片取出来呢，用镊子会不会污染呢，而且镊子会不会被酸腐蚀呢？各位了解这方面工作的能给我一些指点，谢谢啦~~~
以下是我查文献得到的方法，麻烦大家指正啦：
1.将Si 表面依次用1.0 0.3 0.05μm Al2O3 粉在麂皮上打磨至疏水镜面
2.用超纯水清洗后，依次用丙酮和超纯水分别超声清洗3次
3.接着将硅片在Piranha溶液(硫酸体积：双氧水体积=3：1 ）中浸泡20 min 去除表面的油污残留
4.用超纯水冲洗干净后将其施镀面浸入NH4F缓冲溶液中(一体积40% HF和10体积40%氟化铵混合液）刻蚀约2min，得到完全疏水的硅表面，用超纯水冲洗干净
5.取4 mL金镀液 与65μL 40%HF混合均匀，在55℃ 水浴下施镀5 min

问题：1.将硅片放在丙酮和超纯水中超声后怎么把硅片拿出来，用不锈钢的镊子吗？那镊子怎么处理才不会污染硅片呢？
           2.硅片放在Piranha中处理后怎么取出来，用的不锈钢镊子的话会被腐蚀的吧，塑料的PP的也会被浓硫酸腐蚀吧？
          3.NH4F缓冲溶液中含有HF，用PP的烧杯装可以吗？之后怎么把硅片取出来呢？塑料的镊子可以吗？

[ Last edited by 倚风听雨 on 2013-6-4 at 17:56 ]
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1楼 2013-06-04 17:50:37
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
E...你们木有专门的微电子加工实验室么，clean room那种的，硅片清洗都有专门的设备和夹具的啊，不用你自己夹来夹去的，转移硅片也有专门的硅片夹的，和镊子长得不太一样
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2楼2013-06-04 17:57:44
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倚风听雨

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-06-04 17:57:44
E...你们木有专门的微电子加工实验室么，clean room那种的，硅片清洗都有专门的设备和夹具的啊，不用你自己夹来夹去的，转移硅片也有专门的硅片夹的，和镊子长得不太一样

没有呢，很郁闷，这边也没有实验室做这一块，我又是个菜鸟。哎，谢谢你了。不知道能不能自己处理呢？
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3楼2013-06-04 21:54:28
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
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引用回帖:
3楼: Originally posted by 倚风听雨 at 2013-06-04 21:54:28
没有呢，很郁闷，这边也没有实验室做这一块，我又是个菜鸟。哎，谢谢你了。不知道能不能自己处理呢？...

哎那是郁闷的嗯,我们这边专门有一帮人天天穿着无尘衣在洁净室做芯片啥的,看看专门做微电子器件的手册啥的吧,这块标准流程感觉还是比较完善的了
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4楼2013-06-04 22:46:29
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lxjbit

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
没你想的那么复杂，镊子污染没那么严重，如果你需要金的黏附性好，记住加上铬或者钛

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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5楼2013-06-04 23:04:47
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wolfnumber

银虫 (著名写手)
★
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聚四氟乙烯的镊子完全可以，如果片子太大可能不好夹。

冲DI water的时候让水从片子尾开始，最后水流到镊子那一个角，就不用担心镊子可能污染片子的问题，当然，镊子提前要洗干净。

如果金不错后续处理，只是金没问题的，如果还有后续处理，一般要先蒸5nm的Ti或者是Ni，或者Cr。

记住：所有的东西都是自己专用，用完之后好好的收起来。下次用之前要先搞几个预样品，热一下身。
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6楼2013-06-05 10:16:32
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倚风听雨

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by wolfnumber at 2013-06-05 10:16:32
聚四氟乙烯的镊子完全可以，如果片子太大可能不好夹。

冲DI water的时候让水从片子尾开始，最后水流到镊子那一个角，就不用担心镊子可能污染片子的问题，当然，镊子提前要洗干净。

如果金不错后续处理，只是金 ...

好的，谢谢啦！
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7楼2013-06-13 15:17:08
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nancy10214

新虫 (初入文坛)
★
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硅片清洗常规的RCA就可以了，感觉你搞得好复杂！另外建议使用标准四氟片盒洗片子和甩干机甩干片子，氮气吹干容易再次污染。
基本的常识可以找个地方学习一下！
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8楼2014-12-31 10:05:18
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siqixiang

新虫 (小有名气)
★
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麻烦问下您参考的这篇文献的名称，十分感谢！
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9楼2016-02-26 10:34:47
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