应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 腐蚀防护 » 在硅片上镀金之前对硅片进行表面清洗的若干问题求助
51/1返回列表
查看: 3741  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

倚风听雨

铁虫 (初入文坛)

[交流] 在硅片上镀金之前对硅片进行表面清洗的若干问题求助 已有5人参与

大家好，最近在做硅片上镀金的相关课题，查阅文献资料后，知道要做这些表面处理工作，但是在具体操作中有一些问题不太明白，就是各部分处理后怎么把硅片取出来呢，用镊子会不会污染呢，而且镊子会不会被酸腐蚀呢？各位了解这方面工作的能给我一些指点，谢谢啦~~~
以下是我查文献得到的方法，麻烦大家指正啦：
1.将Si 表面依次用1.0 0.3 0.05μm Al2O3 粉在麂皮上打磨至疏水镜面
2.用超纯水清洗后，依次用丙酮和超纯水分别超声清洗3次
3.接着将硅片在Piranha溶液(硫酸体积：双氧水体积=3：1 ）中浸泡20 min 去除表面的油污残留
4.用超纯水冲洗干净后将其施镀面浸入NH4F缓冲溶液中(一体积40% HF和10体积40%氟化铵混合液）刻蚀约2min，得到完全疏水的硅表面，用超纯水冲洗干净
5.取4 mL金镀液 与65μL 40%HF混合均匀，在55℃ 水浴下施镀5 min

问题：1.将硅片放在丙酮和超纯水中超声后怎么把硅片拿出来，用不锈钢的镊子吗？那镊子怎么处理才不会污染硅片呢？
           2.硅片放在Piranha中处理后怎么取出来，用的不锈钢镊子的话会被腐蚀的吧，塑料的PP的也会被浓硫酸腐蚀吧？
          3.NH4F缓冲溶液中含有HF，用PP的烧杯装可以吗？之后怎么把硅片取出来呢？塑料的镊子可以吗？

[ Last edited by 倚风听雨 on 2013-6-4 at 17:56 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-06-04 17:50:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

倚风听雨

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by wolfnumber at 2013-06-05 10:16:32
聚四氟乙烯的镊子完全可以，如果片子太大可能不好夹。

冲DI water的时候让水从片子尾开始，最后水流到镊子那一个角，就不用担心镊子可能污染片子的问题，当然，镊子提前要洗干净。

如果金不错后续处理，只是金 ...

好的，谢谢啦！
回复此楼
7楼2013-06-13 15:17:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
E...你们木有专门的微电子加工实验室么，clean room那种的，硅片清洗都有专门的设备和夹具的啊，不用你自己夹来夹去的，转移硅片也有专门的硅片夹的，和镊子长得不太一样
赞一下 回复此楼
2楼2013-06-04 17:57:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

倚风听雨

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-06-04 17:57:44
E...你们木有专门的微电子加工实验室么，clean room那种的，硅片清洗都有专门的设备和夹具的啊，不用你自己夹来夹去的，转移硅片也有专门的硅片夹的，和镊子长得不太一样

没有呢，很郁闷，这边也没有实验室做这一块，我又是个菜鸟。哎，谢谢你了。不知道能不能自己处理呢？
赞一下 回复此楼
3楼2013-06-04 21:54:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 倚风听雨 at 2013-06-04 21:54:28
没有呢，很郁闷，这边也没有实验室做这一块，我又是个菜鸟。哎，谢谢你了。不知道能不能自己处理呢？...

哎那是郁闷的嗯,我们这边专门有一帮人天天穿着无尘衣在洁净室做芯片啥的,看看专门做微电子器件的手册啥的吧,这块标准流程感觉还是比较完善的了
赞一下 回复此楼
4楼2013-06-04 22:46:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 看来今天不会放榜了？ +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] filecode，4个jtjc了 +11 ziyangfang 2026-08-19 14/700 2026-08-21 16:51 by applepetty
[基金申请] 让我中一个面上吧！ +11 大萍1987 2026-08-20 13/650 2026-08-21 14:48 by 20120902066
[基金申请] 人气不行了 +7 fansofjerry 2026-08-21 7/350 2026-08-21 14:13 by Vivilian
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +23 yaoyewhu2008 2026-08-20 25/1250 2026-08-21 12:19 by Poppy1104
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +15 archvillain 2026-08-15 27/1350 2026-08-21 11:32 by tim76
[基金申请] 今天基金会出结果吗？20260819 +15 kkkl_v 2026-08-19 16/800 2026-08-21 11:22 by 365372687
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧？ +4 哈哈蛤？ 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[论文投稿] 投稿咨询 +5 wwm09 2026-08-17 7/350 2026-08-21 10:11 by 期刊论文帮手
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 放榜前的不淡定 40+4 snowwithsea 2026-08-19 13/650 2026-08-21 08:30 by 北京莱茵编辑
[基金申请] 估计是周四 +3 archvillain 2026-08-18 3/150 2026-08-21 01:48 by jnhyjjm
[基金申请] 今天系统多次维护，明天很可能放榜！ +10 zju2000 2026-08-16 11/550 2026-08-20 20:02 by cl479861084
[基金申请] 时间戳变了，能看出什么问题？ +18 基诺咪客 2026-08-17 23/1150 2026-08-20 17:19 by Godzela
[基金申请] 重要消息，中午系统在维护 +11 yuleib84 2026-08-18 12/600 2026-08-20 11:09 by xskun
[教师之家] 为什么余额宝的年化利率越来越低？主要原因有哪些？ +5 瞬息宇宙 2026-08-15 5/250 2026-08-19 20:23 by super2002521
[基金申请] 2027广东省杰青 +4 奶牛小黑 2026-08-15 10/500 2026-08-19 11:02 by wanfengnew
[基金申请] 明天放榜？ +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭