| 查看: 3317 | 回复: 8 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
在硅片上镀金之前对硅片进行表面清洗的若干问题求助 已有5人参与
|
|||
|
大家好，最近在做硅片上镀金的相关课题，查阅文献资料后，知道要做这些表面处理工作，但是在具体操作中有一些问题不太明白，就是各部分处理后怎么把硅片取出来呢，用镊子会不会污染呢，而且镊子会不会被酸腐蚀呢？各位了解这方面工作的能给我一些指点，谢谢啦~~~ 以下是我查文献得到的方法，麻烦大家指正啦： 1.将Si 表面依次用1.0 0.3 0.05μm Al2O3 粉在麂皮上打磨至疏水镜面 2.用超纯水清洗后，依次用丙酮和超纯水分别超声清洗3次 3.接着将硅片在Piranha溶液(硫酸体积：双氧水体积=3：1 ）中浸泡20 min 去除表面的油污残留 4.用超纯水冲洗干净后将其施镀面浸入NH4F缓冲溶液中(一体积40% HF和10体积40%氟化铵混合液）刻蚀约2min，得到完全疏水的硅表面，用超纯水冲洗干净 5.取4 mL金镀液 与65μL 40%HF混合均匀，在55℃ 水浴下施镀5 min 问题：1.将硅片放在丙酮和超纯水中超声后怎么把硅片拿出来，用不锈钢的镊子吗？那镊子怎么处理才不会污染硅片呢？ 2.硅片放在Piranha中处理后怎么取出来，用的不锈钢镊子的话会被腐蚀的吧，塑料的PP的也会被浓硫酸腐蚀吧？ 3.NH4F缓冲溶液中含有HF，用PP的烧杯装可以吗？之后怎么把硅片取出来呢？塑料的镊子可以吗？ [ Last edited by 倚风听雨 on 2013-6-4 at 17:56 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
意大利博洛尼亚大学招聘研究助理2名（2D材料/锂离子与钠离子电池方向）
已经有1人回复
-
关于碳量子点抗菌的研究
已经有15人回复
-
物理化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有171人回复
-
南大化学调剂
已经有11人回复
-
硫酸钠溶液浓度与密度曲线
已经有0人回复
-
0703调剂
已经有2人回复
-
1
已经有20人回复
-
0703 调剂
已经有5人回复
-
招收
已经有0人回复
-
西南某211招27届博士
已经有23人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 镀金硅片如何清洗
已经有6人回复
- 怎样判断硅片表面清洗干净？
已经有11人回复
- TMAH腐蚀硅片时保护硅片表面的铝电极
已经有8人回复
- 硅片上旋涂knn前驱体溶液
已经有8人回复
- 关于硅片表面疏水性处理的问题，20金币，谢谢指点
已经有4人回复
- 求助：如何测硅片的电导率
已经有4人回复
- 关于用硫酸双氧水处理硅片的问题
已经有4人回复
- 求助关于用PECVD在硅片上生长SiO2的掩膜材料
已经有8人回复
- 硅片上生长的Ag纳米颗粒怎样分散到溶液里面
已经有8人回复
- 如何对硅片表面进行亲水疏水处理？
已经有3人回复
- 【讨论】AAO在硅片上模板问题
已经有5人回复
- 【请教】在硅片上制备大小均一，分布均匀的银颗粒
已经有3人回复
- 如何对硅片进行氨基化处理
已经有2人回复
- 【求助】硅片刻蚀
已经有4人回复
- 【求助】求助各位前辈关于单晶硅片高温处理后的腐蚀问题
已经有12人回复
- 【求助】用20%NaOH腐蚀硅片怎么这样（有图）
已经有16人回复
- 【求助】硅片的稳定钝化
已经有5人回复
- 【求助】SEM ITO or 硅片？
已经有16人回复
- 【求助】请问如何在硅片上镀一层二氧化硅薄膜？
已经有34人回复
- 【求助】求助：要做AFM前硅片怎么处理和旋涂？
已经有21人回复
7楼2013-06-13 15:17:08
gxytju2008
专家顾问 (文坛精英)
-
专家经验: +1654 - 应助: 4105 (副教授)
- 贵宾: 0.053
- 金币: 47529.7
- 散金: 4089
- 红花: 503
- 帖子: 14997
- 在线: 7315.2小时
- 虫号: 1111232
- 注册: 2010-09-29
- 性别: GG
- 专业: 材料物理化学
- 管辖: 微米和纳米
2楼2013-06-04 17:57:44
3楼2013-06-04 21:54:28
gxytju2008
专家顾问 (文坛精英)
-
专家经验: +1654 - 应助: 4105 (副教授)
- 贵宾: 0.053
- 金币: 47529.7
- 散金: 4089
- 红花: 503
- 帖子: 14997
- 在线: 7315.2小时
- 虫号: 1111232
- 注册: 2010-09-29
- 性别: GG
- 专业: 材料物理化学
- 管辖: 微米和纳米
4楼2013-06-04 22:46:29
