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zx2007as

木虫 (正式写手)

[求助] 如何对硅片表面进行亲水疏水处理?

现有买好的硅片(抛光和不抛光的两种),想对硅片表面进行亲水和疏水处理后,看到亲水的硅片的处理论坛上有介绍,但对于疏水的硅片的处理好像介绍的不多,不知道各位虫友有什么好的方法,最好有文献支持,谢谢
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西塔小西西

禁虫 (小有名气)


金光闪闪2010(金币+1): 2011-11-26 08:28:54
zx2007as(金币+5): 2011-11-26 22:33:02
本帖内容被屏蔽

2楼2011-11-25 22:32:40
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donkeypku

至尊木虫 (著名写手)

两院院士

【答案】应助回帖

zx2007as(金币+5): 2011-11-26 22:33:08
H2O2+硫酸煮30min亲水
HF处理几秒,或者表面硅氧烷改性疏水
博观约取,厚积薄发
3楼2011-11-26 18:33:22
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nanofellow

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

zx2007as(金币+5): 2011-11-26 22:33:13
引用回帖:
1楼: Originally posted by zx2007as at 2011-10-25 14:25:02:
现有买好的硅片(抛光和不抛光的两种),想对硅片表面进行亲水和疏水处理后,看到亲水的硅片的处理论坛上有介绍,但对于疏水的硅片的处理好像介绍的不多,不知道各位虫友有什么好的方法,最好有文献支持,谢谢

简单点的,就是用HF水溶液处理,硅片表面处于大气中会有一层二氧化硅,用HF处理后,可以溶解(反应)掉,使得Si表面被H化,因此就疏水了。这个问题稍微查下文献就会收获很多。
想成为JACS的作者,坚持!
4楼2011-11-26 22:10:59
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