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zx2007as

木虫 (正式写手)

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[求助] 如何对硅片表面进行亲水疏水处理？

现有买好的硅片（抛光和不抛光的两种），想对硅片表面进行亲水和疏水处理后，看到亲水的硅片的处理论坛上有介绍，但对于疏水的硅片的处理好像介绍的不多，不知道各位虫友有什么好的方法，最好有文献支持，谢谢

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1楼 2011-10-25 14:25:02

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西塔小西西

禁虫 (小有名气)

★
金光闪闪2010(金币+1): 2011-11-26 08:28:54
zx2007as(金币+5): 2011-11-26 22:33:02

本帖内容被屏蔽

2楼2011-11-25 22:32:40

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donkeypku

至尊木虫 (著名写手)

两院院士

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【答案】应助回帖

zx2007as(金币+5): 2011-11-26 22:33:08

H2O2+硫酸煮30min亲水
HF处理几秒，或者表面硅氧烷改性疏水

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博观约取，厚积薄发

3楼2011-11-26 18:33:22

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nanofellow

专家顾问 (著名写手)

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【答案】应助回帖

zx2007as(金币+5): 2011-11-26 22:33:13

引用回帖:

1楼: Originally posted by zx2007as at 2011-10-25 14:25:02:
现有买好的硅片（抛光和不抛光的两种），想对硅片表面进行亲水和疏水处理后，看到亲水的硅片的处理论坛上有介绍，但对于疏水的硅片的处理好像介绍的不多，不知道各位虫友有什么好的方法，最好有文献支持，谢谢

简单点的，就是用HF水溶液处理，硅片表面处于大气中会有一层二氧化硅，用HF处理后，可以溶解（反应）掉，使得Si表面被H化，因此就疏水了。这个问题稍微查下文献就会收获很多。

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想成为JACS的作者，坚持！

4楼2011-11-26 22:10:59

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