应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 怎样测试一个硅片表面的掺杂均匀性？
121/2返回列表12下一页
查看: 2304  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

莎莎_2010

金虫 (小有名气)

[求助] 怎样测试一个硅片表面的掺杂均匀性？

要用到什么仪器？非常感谢！
回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

工部侍郎

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2012-03-12 09:36:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lhy_sh

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
莎莎_2010(金币+3): ★★★很有帮助 2012-03-14 09:49:54
悠然zx11(金币+1): 多谢参与交流~欢迎常来~ 2012-03-14 10:08:00
SIMS, 硅片不同的位置测试不同的点。请问掺杂的是什么？是扩散进去的吗？
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

莎莎_2010
我幻想自己是地主家的小姐，家有良田千顷，终曰不学无术，没事领着一群狗丫鬟上街去调戏良家秀才……
2楼2012-03-12 12:44:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

596804940

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
莎莎_2010(金币+12): ★★★很有帮助 2012-03-14 09:49:59
悠然zx11(金币+1): 多谢参与交流~欢迎常来~ 2012-03-14 10:08:18
至少要知道什么杂质，硅片不同的位置测试不同的点，才能知道
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

莎莎_2010
3楼2012-03-13 10:04:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

悠然zx11

荣誉版主 (知名作家)

优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
红外热像仪；测定离子注入后掺杂总数，可使用85台离子注入机测的方块电阻。
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

莎莎_2010 莎莎_2010
4楼2012-03-13 10:41:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaofu7723

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
悠然zx11(专家考核): 2012-03-14 10:08:37
直接用面扫描不行吗？我不太懂啊，哈哈
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

莎莎_2010
5楼2012-03-14 07:57:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

莎莎_2010

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
楼: Originally posted by lhy_sh at 2012-03-12 12:44:32:
SIMS, 硅片不同的位置测试不同的点。请问掺杂的是什么？是扩散进去的吗？

是扩散进去的，硼或者磷。不想破坏掉样品，所以没有做SIMS。
赞一下 回复此楼
6楼2012-03-14 09:36:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

莎莎_2010

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
楼: Originally posted by 596804940 at 2012-03-13 10:04:59:
至少要知道什么杂质，硅片不同的位置测试不同的点，才能知道

是扩散的硼和磷。
回复此楼
7楼2012-03-14 09:36:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

莎莎_2010

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
楼: Originally posted by 悠然zx11 at 2012-03-13 10:41:33:
红外热像仪；测定离子注入后掺杂总数，可使用85台离子注入机测的方块电阻。

谢谢~我去联系下红外热像仪试试~
赞一下 回复此楼
8楼2012-03-14 09:49:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

莎莎_2010

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
楼: Originally posted by xiaofu7723 at 2012-03-14 07:57:46:
直接用面扫描不行吗？我不太懂啊，哈哈

好像不行哦~还是谢谢~~
赞一下 回复此楼
9楼2012-03-14 09:49:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

莎莎_2010

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
楼: Originally posted by 悠然zx11 at 2012-03-13 10:41:33:
红外热像仪；测定离子注入后掺杂总数，可使用85台离子注入机测的方块电阻。

第一次回帖评分，搞错了，给楼上了，本来是要给你的，不好意思啊。。。
赞一下 回复此楼
10楼2012-03-14 09:53:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 莎莎_2010 的主题更新
121/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭