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莎莎_2010

金虫 (小有名气)

[求助] 怎样测试一个硅片表面的掺杂均匀性?

要用到什么仪器?非常感谢!
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lhy_sh

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
莎莎_2010(金币+3): ★★★很有帮助 2012-03-14 09:49:54
悠然zx11(金币+1): 多谢参与交流~欢迎常来~ 2012-03-14 10:08:00
SIMS, 硅片不同的位置测试不同的点。请问掺杂的是什么?是扩散进去的吗?

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我幻想自己是地主家的小姐,家有良田千顷,终曰不学无术,没事领着一群狗丫鬟上街去调戏良家秀才……
2楼2012-03-12 12:44:32
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596804940

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
莎莎_2010(金币+12): ★★★很有帮助 2012-03-14 09:49:59
悠然zx11(金币+1): 多谢参与交流~欢迎常来~ 2012-03-14 10:08:18
至少要知道什么杂质,硅片不同的位置测试不同的点,才能知道

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

3楼2012-03-13 10:04:59
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悠然zx11

荣誉版主 (知名作家)

优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
红外热像仪;测定离子注入后掺杂总数,可使用85台离子注入机测的方块电阻。

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4楼2012-03-13 10:41:33
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xiaofu7723

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
悠然zx11(专家考核): 2012-03-14 10:08:37
直接用面扫描不行吗?我不太懂啊,哈哈

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

5楼2012-03-14 07:57:46
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莎莎_2010

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
: Originally posted by lhy_sh at 2012-03-12 12:44:32:
SIMS, 硅片不同的位置测试不同的点。请问掺杂的是什么?是扩散进去的吗?

是扩散进去的,硼或者磷。不想破坏掉样品,所以没有做SIMS。
6楼2012-03-14 09:36:11
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莎莎_2010

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
: Originally posted by 596804940 at 2012-03-13 10:04:59:
至少要知道什么杂质,硅片不同的位置测试不同的点,才能知道

是扩散的硼和磷。
7楼2012-03-14 09:36:42
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莎莎_2010

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
: Originally posted by 悠然zx11 at 2012-03-13 10:41:33:
红外热像仪;测定离子注入后掺杂总数,可使用85台离子注入机测的方块电阻。

谢谢~我去联系下红外热像仪试试~
8楼2012-03-14 09:49:14
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莎莎_2010

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
: Originally posted by xiaofu7723 at 2012-03-14 07:57:46:
直接用面扫描不行吗?我不太懂啊,哈哈

好像不行哦~还是谢谢~~
9楼2012-03-14 09:49:33
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莎莎_2010

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
: Originally posted by 悠然zx11 at 2012-03-13 10:41:33:
红外热像仪;测定离子注入后掺杂总数,可使用85台离子注入机测的方块电阻。

第一次回帖评分,搞错了,给楼上了,本来是要给你的,不好意思啊。。。
10楼2012-03-14 09:53:57
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