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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 怎样测试一个硅片表面的掺杂均匀性？
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莎莎_2010

金虫 (小有名气)

[求助] 怎样测试一个硅片表面的掺杂均匀性？

要用到什么仪器？非常感谢！
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工部侍郎

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1楼 2012-03-12 09:36:05
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莎莎_2010

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
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楼: Originally posted by lhy_sh at 2012-03-12 12:44:32:
SIMS, 硅片不同的位置测试不同的点。请问掺杂的是什么？是扩散进去的吗？

是扩散进去的，硼或者磷。不想破坏掉样品，所以没有做SIMS。
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6楼2012-03-14 09:36:11
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莎莎_2010

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
楼: Originally posted by 596804940 at 2012-03-13 10:04:59:
至少要知道什么杂质，硅片不同的位置测试不同的点，才能知道

是扩散的硼和磷。
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7楼2012-03-14 09:36:42
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莎莎_2010

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
楼: Originally posted by 悠然zx11 at 2012-03-13 10:41:33:
红外热像仪；测定离子注入后掺杂总数，可使用85台离子注入机测的方块电阻。

谢谢~我去联系下红外热像仪试试~
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8楼2012-03-14 09:49:14
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莎莎_2010

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
楼: Originally posted by xiaofu7723 at 2012-03-14 07:57:46:
直接用面扫描不行吗？我不太懂啊，哈哈

好像不行哦~还是谢谢~~
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9楼2012-03-14 09:49:33
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莎莎_2010

金虫 (小有名气)
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引用回帖:
楼: Originally posted by 悠然zx11 at 2012-03-13 10:41:33:
红外热像仪；测定离子注入后掺杂总数，可使用85台离子注入机测的方块电阻。

第一次回帖评分，搞错了，给楼上了，本来是要给你的，不好意思啊。。。
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10楼2012-03-14 09:53:57
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