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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 电分析测试 » 求助：如何测硅片的电导率
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cidly

至尊木虫 (正式写手)

[求助] 求助：如何测硅片的电导率

如题，本人想测1cm*1cm大小硅片的薄层电阻和电导率，想用四探针法测，但是我查了资料，发现有如下公式：
1、
2、
3、
请问对于我想测的硅片，应该用什么公式？还是说有其他公式？

然后就是，用四探针法测硅片电导率一定要做电极吗？为什么要做电极呢？
PS.我对电测量不懂。刚接触，实验室人也不懂这块。。。。无语中。。。

求高人。。求指点。。。不胜感谢，如能提供相关资料，更好
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1楼 2012-05-23 14:55:02
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husz0012010

新虫 (小有名气)
我也不懂，求同问！
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书山本无路，变得勤奋了，就有路了。
2楼2012-09-05 17:06:04
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

所以的电测量都需用电极连接，除了电场感应法外。
对Si表面电阻/电导测量，为减小电极与表面的接触电阻对测试的影响，一般都采用四电极法，即将四个等距离排列的惰性金属探针（或直接将电极沉积/粘贴）压接在样品表面，两个外电极通电流，测量两个内电极上的电位差，再用公式2（取决于电极的排列）计算即可。
为了理解这一原理，推荐你看看一篇文章：
http://wenku.baidu.com/view/f0cf6fea81c758f5f61f671f.html
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Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
3楼2012-09-05 20:07:23
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631141161

木虫 (著名写手)

停顿的空气

【答案】应助回帖

首先你要先确定你的四个探针之间的间距是多少，如果相邻两个探针间距小于1/4CM的话你可以用2πS的电流进行测试，即电阻率=2πS*V*Fsp（Fsp为探针间距修正系数，刚开始用的话可以不考虑，当成是1），如果探针间距大于1/4CM的话可以设定电流I=W*F（W/S）*F（S/D），电阻率=V/I*W*F（W/S）*F（S/D）*Fsp*Ft，V为电压，I为电流，W为样品厚度，F（W/S）为厚度修正系数，F（S/D）为直径修正系数，Ft为温度修正系数。
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生活有时候就是要绕很大个圈才能明白
4楼2012-09-06 14:18:33
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631141161

木虫 (著名写手)

停顿的空气

【答案】应助回帖

这里有个地址是关于四探针法测试硅单晶电阻率的，里面有F（W/S）、F（S/D）、Ft各个修正系数想对应的值和计算方法，希望对你有所帮助，有什么不懂的可以再问我。
http://ishare.iask.sina.com.cn/f/14182501.html?from=dl
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生活有时候就是要绕很大个圈才能明白
5楼2012-09-06 14:23:21
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