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cidly至尊木虫 (正式写手)
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求助：如何测硅片的电导率
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如题，本人想测1cm*1cm大小硅片的薄层电阻和电导率，想用四探针法测，但是我查了资料，发现有如下公式： 1、  2、  3、  请问对于我想测的硅片，应该用什么公式？还是说有其他公式？ 然后就是，用四探针法测硅片电导率一定要做电极吗？为什么要做电极呢？ PS.我对电测量不懂。刚接触，实验室人也不懂这块。。。。无语中。。。 求高人。。求指点。。。不胜感谢，如能提供相关资料，更好 |
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husz0012010
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2楼2012-09-05 17:06:04
Jackcd12
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【答案】应助回帖
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所以的电测量都需用电极连接，除了电场感应法外。 对Si表面电阻/电导测量，为减小电极与表面的接触电阻对测试的影响，一般都采用四电极法，即将四个等距离排列的惰性金属探针（或直接将电极沉积/粘贴）压接在样品表面，两个外电极通电流，测量两个内电极上的电位差，再用公式2（取决于电极的排列）计算即可。 为了理解这一原理，推荐你看看一篇文章： http://wenku.baidu.com/view/f0cf6fea81c758f5f61f671f.html |
3楼2012-09-05 20:07:23
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4楼2012-09-06 14:18:33
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【答案】应助回帖
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这里有个地址是关于四探针法测试硅单晶电阻率的，里面有F（W/S）、F（S/D）、Ft各个修正系数想对应的值和计算方法，希望对你有所帮助，有什么不懂的可以再问我。 http://ishare.iask.sina.com.cn/f/14182501.html?from=dl |
5楼2012-09-06 14:23:21
