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在硅片上镀金之前对硅片进行表面清洗的若干问题求助 已有5人参与
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大家好，最近在做硅片上镀金的相关课题，查阅文献资料后，知道要做这些表面处理工作，但是在具体操作中有一些问题不太明白，就是各部分处理后怎么把硅片取出来呢，用镊子会不会污染呢，而且镊子会不会被酸腐蚀呢？各位了解这方面工作的能给我一些指点，谢谢啦~~~ 以下是我查文献得到的方法，麻烦大家指正啦： 1.将Si 表面依次用1.0 0.3 0.05μm Al2O3 粉在麂皮上打磨至疏水镜面 2.用超纯水清洗后，依次用丙酮和超纯水分别超声清洗3次 3.接着将硅片在Piranha溶液(硫酸体积：双氧水体积=3：1 ）中浸泡20 min 去除表面的油污残留 4.用超纯水冲洗干净后将其施镀面浸入NH4F缓冲溶液中(一体积40% HF和10体积40%氟化铵混合液）刻蚀约2min，得到完全疏水的硅表面，用超纯水冲洗干净 5.取4 mL金镀液 与65μL 40%HF混合均匀，在55℃ 水浴下施镀5 min 问题：1.将硅片放在丙酮和超纯水中超声后怎么把硅片拿出来，用不锈钢的镊子吗？那镊子怎么处理才不会污染硅片呢？ 2.硅片放在Piranha中处理后怎么取出来，用的不锈钢镊子的话会被腐蚀的吧，塑料的PP的也会被浓硫酸腐蚀吧？ 3.NH4F缓冲溶液中含有HF，用PP的烧杯装可以吗？之后怎么把硅片取出来呢？塑料的镊子可以吗？ [ Last edited by 倚风听雨 on 2013-6-4 at 17:56 ] |
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