应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】询问硅各向同性腐蚀
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
91/1返回列表
查看: 2620  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

xiangqy

铁虫 (小有名气)

[交流] 【求助】询问硅各向同性腐蚀 已有3人参与

请问用 HF∶HNO3∶CH3 COOH或 HF∶HNO3 ∶H2O的硅的各向同性腐蚀蚀。做为保护的二氧化硅能不能被保留啊？还是会被腐蚀掉。有没有办法让二氧化硅被保留？谢谢！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2010-09-13 22:53:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

感觉

银虫 (初入文坛)
★ ★ ★
GrasaVampiro(金币+3): 2010-11-30 20:42:42
楼主所选的腐蚀液适合对Si进行化学抛光，可以与Si发生化学反应，
SiO2会和HNO3发生反应，被溶解掉，不能被保留。如果想对硅进行腐蚀，同时又想保留下二氧化硅，湿法化学腐蚀怕应该做不到，因为能腐蚀硅的腐蚀液则肯定能够将二氧化硅腐蚀掉。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2010-11-30 19:08:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanbaogang

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by 感觉 at 2010-11-30 19:08:32:
楼主所选的腐蚀液适合对Si进行化学抛光，可以与Si发生化学反应，
SiO2会和HNO3发生反应，被溶解掉，不能被保留。如果想对硅进行腐蚀，同时又想保留下二氧化硅，湿法化学腐蚀怕应该做不到，因为能腐蚀硅的腐蚀液则 ...

从我的经验看用KOH可以既刻蚀硅又能留住二氧化硅，这是因为两者同KOH的反应速率相差很大的原因。当然，不能保证二氧化硅一点都不损失。

对于LZ的各项同性腐蚀，我不推荐用KOH，可以试一试TMAH。
赞一下 回复此楼
3楼2010-12-06 20:15:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chying8181

金虫 (初入文坛)
干法刻蚀
回复此楼
4楼2011-02-24 11:08:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lilizi

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by quanbaogang at 2010-12-06 20:15:26
从我的经验看用KOH可以既刻蚀硅又能留住二氧化硅，这是因为两者同KOH的反应速率相差很大的原因。当然，不能保证二氧化硅一点都不损失。

对于LZ的各项同性腐蚀，我不推荐用KOH，可以试一试TMAH。...

请问下用KOH或TMAH腐蚀硅又留下SiO2的浓度大概在什么范围内和处理多长时间对SiO2的损失较少
赞一下 回复此楼
5楼2013-04-27 16:03:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanbaogang

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by lilizi at 2013-04-27 16:03:13
请问下用KOH或TMAH腐蚀硅又留下SiO2的浓度大概在什么范围内和处理多长时间对SiO2的损失较少...

具体说一下你要做的事情，如果方便说的话。
这方面的文献和资料都不少，可是真做起来还需要考虑具体情况。
赞一下 回复此楼
6楼2013-04-28 08:48:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lilizi

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by quanbaogang at 2013-04-28 08:48:02
具体说一下你要做的事情，如果方便说的话。
这方面的文献和资料都不少，可是真做起来还需要考虑具体情况。...

我主要要处理的是硅粉，让硅粉的粒径更小一点
赞一下 回复此楼
7楼2013-05-03 16:46:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanbaogang

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你是在硅粉外面制备了一层氧化硅？
而后又要把硅腐蚀掉一部分使硅粉直径变小，而同时还要保留二氧化硅？
如果是的话，你的二氧化硅是多孔的吗？否则，怎么保证被包覆的硅反应呢！？
有些溶剂能够不腐蚀二氧化硅但是腐蚀硅，可以试一试，只有你的包覆层不是完全包覆。
赞一下 回复此楼
8楼2013-05-05 11:44:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

志存高远229

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
硅粉刻蚀完成后怎么从刻蚀液中取出
赞一下 回复此楼
9楼2015-11-14 11:27:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 xiangqy 的主题更新
91/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 285求调剂 +4 AZMK 2026-04-04 6/300 2026-04-05 14:38 by AZMK
[考研] 材料0856 英一数二 323 求调剂 +11 袁sy 2026-04-01 11/550 2026-04-05 11:30 by 风雨无晴
[考研] 270求调剂 +9 小杰pp 2026-03-31 11/550 2026-04-05 11:02 by 风雨无晴
[考研] 341求调剂 +3 学无止境，冲 2026-04-05 3/150 2026-04-05 09:40 by lbsjt
[考研] 0854求调剂 +4 assdll 2026-04-03 4/200 2026-04-04 22:17 by hemengdong
[考研] 一志愿华南师范361分，化学求调剂 +7 Nicole88888 2026-04-01 7/350 2026-04-04 18:28 by macy2011
[考研] 一志愿沪985，326分求调剂 +3 刘墨墨 2026-04-03 3/150 2026-04-04 11:16 by 悲伤的芋头
[考研] 求调剂 +3 wos666 2026-04-03 3/150 2026-04-04 05:16 by gswylq
[考研] 305求调剂 +3 77Qi 2026-04-03 3/150 2026-04-03 23:01 by qzxyhcsy
[考研] 336求调剂 +8 kiyy 2026-04-01 8/400 2026-04-03 19:41 by lijunpoly
[考研] 兽医调剂 +3 wh119216 2026-04-02 3/150 2026-04-03 19:34 by zrongyan
[考研] 工科341分调剂 +3 洛多罗 2026-04-03 3/150 2026-04-03 14:20 by 1753564080
[考研] 071000生物学调剂 +8 知昭蔓 2026-04-02 8/400 2026-04-03 10:36 by macy2011
[考研] 材料调剂 +4 一样YWY 2026-04-03 4/200 2026-04-03 09:48 by 蓝云思雨
[考研] 化学070300-总分378-求调剂 +5 挪椅子的泡泡糖 2026-04-02 5/250 2026-04-02 22:20 by ZXlzxl0425
[考研] 26考研调剂 +4 Wnz.20030617 2026-04-01 5/250 2026-04-02 16:11 by 1939136013狗壮
[考研] 261求B区调剂 +5 明仔· 2026-04-01 7/350 2026-04-02 11:17 by 邹尉尉
[考研] 考研调剂 +12 Amber00 2026-03-31 12/600 2026-04-02 09:04 by sanrepian
[考研] 311求调剂 +10 李芷新1 2026-03-31 10/500 2026-04-01 14:38 by chenqifeng666
[硕博家园] 博一被送出联培感觉不适应怎么办 +3 全村的狗 2026-03-31 3/150 2026-04-01 10:44 by 328838485
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭