应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】询问硅各向同性腐蚀
51/1返回列表
查看: 2541  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

xiangqy

铁虫 (小有名气)

[交流] 【求助】询问硅各向同性腐蚀 已有3人参与

请问用 HF∶HNO3∶CH3 COOH或 HF∶HNO3 ∶H2O的硅的各向同性腐蚀蚀。做为保护的二氧化硅能不能被保留啊？还是会被腐蚀掉。有没有办法让二氧化硅被保留？谢谢！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2010-09-13 22:53:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

志存高远229

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
硅粉刻蚀完成后怎么从刻蚀液中取出
赞一下 回复此楼
9楼2015-11-14 11:27:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

感觉

银虫 (初入文坛)
★ ★ ★
GrasaVampiro(金币+3): 2010-11-30 20:42:42
楼主所选的腐蚀液适合对Si进行化学抛光，可以与Si发生化学反应，
SiO2会和HNO3发生反应，被溶解掉，不能被保留。如果想对硅进行腐蚀，同时又想保留下二氧化硅，湿法化学腐蚀怕应该做不到，因为能腐蚀硅的腐蚀液则肯定能够将二氧化硅腐蚀掉。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2010-11-30 19:08:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanbaogang

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by 感觉 at 2010-11-30 19:08:32:
楼主所选的腐蚀液适合对Si进行化学抛光，可以与Si发生化学反应，
SiO2会和HNO3发生反应，被溶解掉，不能被保留。如果想对硅进行腐蚀，同时又想保留下二氧化硅，湿法化学腐蚀怕应该做不到，因为能腐蚀硅的腐蚀液则 ...

从我的经验看用KOH可以既刻蚀硅又能留住二氧化硅，这是因为两者同KOH的反应速率相差很大的原因。当然，不能保证二氧化硅一点都不损失。

对于LZ的各项同性腐蚀，我不推荐用KOH，可以试一试TMAH。
赞一下 回复此楼
3楼2010-12-06 20:15:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lilizi

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by quanbaogang at 2010-12-06 20:15:26
从我的经验看用KOH可以既刻蚀硅又能留住二氧化硅，这是因为两者同KOH的反应速率相差很大的原因。当然，不能保证二氧化硅一点都不损失。

对于LZ的各项同性腐蚀，我不推荐用KOH，可以试一试TMAH。...

请问下用KOH或TMAH腐蚀硅又留下SiO2的浓度大概在什么范围内和处理多长时间对SiO2的损失较少
赞一下 回复此楼
5楼2013-04-27 16:03:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 070303一志愿西北大学学硕310找调剂 +5 d如愿上岸 2026-03-12 8/400 2026-03-16 15:19 by peike
[考研] 0856求调剂 +3 刘梦微 2026-03-15 3/150 2026-03-16 10:00 by houyaoxu
[考研] 22408总分284求调剂 +3 InAspic 2026-03-13 3/150 2026-03-15 11:10 by zhq0425
[考研] 294求调剂 +3 Zys010410@ 2026-03-13 4/200 2026-03-15 10:59 by zhq0425
[考研] 080500，材料学硕302分求调剂学校 +4 初识可乐 2026-03-14 5/250 2026-03-14 21:08 by peike
[考研] 材料与化工 323 英一+数二+物化，一志愿：哈工大 本人本科双一流 +4 自由的_飞翔 2026-03-13 5/250 2026-03-14 19:39 by hmn_wj
[考研] 297一志愿上交085600求调剂 +5 指尖八千里 2026-03-14 5/250 2026-03-14 17:26 by a不易
[考研] 330求调剂 +3 ?酱给调剂跪了 2026-03-13 3/150 2026-03-14 10:13 by JourneyLucky
[考研] 312求调剂 +6 陌宸希 2026-03-10 6/300 2026-03-14 00:40 by JourneyLucky
[考研] 311求调剂 +5 牛乳糖的卡卡 2026-03-10 5/250 2026-03-14 00:05 by JourneyLucky
[考研] 求材料调剂 085600英一数二总分302 前三科235 精通机器学习 一志愿哈工大 +4 林yaxin 2026-03-12 4/200 2026-03-13 22:04 by 星空星月
[考研] 315求调剂 +9 小羊小羊_ 2026-03-11 10/500 2026-03-13 21:13 by SXNU李老师
[考研] 281求调剂 +9 Koxui 2026-03-12 11/550 2026-03-13 20:50 by Koxui
[考研] 293求调剂 +3 世界首富 2026-03-11 3/150 2026-03-13 16:27 by JourneyLucky
[考研] 材料专硕350 求调剂 +4 王金科 2026-03-12 4/200 2026-03-13 16:02 by ruiyingmiao
[考研] 307求调剂 +5 超级伊昂大王 2026-03-12 5/250 2026-03-13 15:56 by 棒棒球手
[考研] 268求调剂 +4 好运连绵不绝 2026-03-12 4/200 2026-03-13 10:45 by hyswxzs
[考研] 0856化工原理 +6 z2839474511 2026-03-10 6/300 2026-03-13 10:41 by houyaoxu
[考研] 研究生招生 +3 徐海涛11 2026-03-10 7/350 2026-03-12 14:26 by 徐海涛11
[考研] 298求调剂 +3 Vv呀！ 2026-03-10 3/150 2026-03-10 22:40 by 剑诗杜康
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭