应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】询问硅各向同性腐蚀
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
51/1返回列表
查看: 2603  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

xiangqy

铁虫 (小有名气)

[交流] 【求助】询问硅各向同性腐蚀 已有3人参与

请问用 HF∶HNO3∶CH3 COOH或 HF∶HNO3 ∶H2O的硅的各向同性腐蚀蚀。做为保护的二氧化硅能不能被保留啊？还是会被腐蚀掉。有没有办法让二氧化硅被保留？谢谢！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2010-09-13 22:53:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanbaogang

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by lilizi at 2013-04-27 16:03:13
请问下用KOH或TMAH腐蚀硅又留下SiO2的浓度大概在什么范围内和处理多长时间对SiO2的损失较少...

具体说一下你要做的事情，如果方便说的话。
这方面的文献和资料都不少，可是真做起来还需要考虑具体情况。
赞一下 回复此楼
6楼2013-04-28 08:48:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

感觉

银虫 (初入文坛)
★ ★ ★
GrasaVampiro(金币+3): 2010-11-30 20:42:42
楼主所选的腐蚀液适合对Si进行化学抛光，可以与Si发生化学反应，
SiO2会和HNO3发生反应，被溶解掉，不能被保留。如果想对硅进行腐蚀，同时又想保留下二氧化硅，湿法化学腐蚀怕应该做不到，因为能腐蚀硅的腐蚀液则肯定能够将二氧化硅腐蚀掉。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2010-11-30 19:08:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanbaogang

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by 感觉 at 2010-11-30 19:08:32:
楼主所选的腐蚀液适合对Si进行化学抛光，可以与Si发生化学反应，
SiO2会和HNO3发生反应，被溶解掉，不能被保留。如果想对硅进行腐蚀，同时又想保留下二氧化硅，湿法化学腐蚀怕应该做不到，因为能腐蚀硅的腐蚀液则 ...

从我的经验看用KOH可以既刻蚀硅又能留住二氧化硅，这是因为两者同KOH的反应速率相差很大的原因。当然，不能保证二氧化硅一点都不损失。

对于LZ的各项同性腐蚀，我不推荐用KOH，可以试一试TMAH。
赞一下 回复此楼
3楼2010-12-06 20:15:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lilizi

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by quanbaogang at 2010-12-06 20:15:26
从我的经验看用KOH可以既刻蚀硅又能留住二氧化硅，这是因为两者同KOH的反应速率相差很大的原因。当然，不能保证二氧化硅一点都不损失。

对于LZ的各项同性腐蚀，我不推荐用KOH，可以试一试TMAH。...

请问下用KOH或TMAH腐蚀硅又留下SiO2的浓度大概在什么范围内和处理多长时间对SiO2的损失较少
赞一下 回复此楼
5楼2013-04-27 16:03:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 300求调剂，材料科学英一数二 +17 leaflight 2026-03-24 17/850 2026-03-30 15:20 by gzy091
[考研] 295求调剂 +5 wei-5 2026-03-26 5/250 2026-03-30 08:34 by 探123
[考研] 求调剂 +6 家佳佳佳佳佳 2026-03-29 6/300 2026-03-30 06:48 by zhyzzh
[考研] 085600，专业课化工原理，320分求调剂 +4 大馋小子 2026-03-29 4/200 2026-03-29 23:12 by Evan_Liu
[考研] 290求调剂 +3 dfffsar 2026-03-29 3/150 2026-03-29 22:38 by 毛毛毛阿莫2
[考研] 各位老师好，我的一志愿为北京科技大学085601材料专硕 +9 Koxui 2026-03-28 9/450 2026-03-29 20:43 by 无际的草原
[考研] 【求调剂】085601材料工程专硕 | 总分272 | +7 脚滑的守法公民 2026-03-27 7/350 2026-03-29 20:21 by dophin1985
[考研] 299求调剂 +10 15188958825 2026-03-25 10/500 2026-03-29 17:51 by 王亮_大连医科大
[考研] 289求调剂 +5 BrightLL 2026-03-29 5/250 2026-03-29 17:24 by zhyzzh
[考研] 一志愿南昌大学324求调剂 +5 hanamiko 2026-03-29 5/250 2026-03-29 16:46 by 学员8dgXkO
[考研] 279求调剂 +4 蝶舞轻绕 2026-03-29 4/200 2026-03-29 09:45 by laoshidan
[硕博家园] 招收生物学/细胞生物学调剂 +4 IceGuo 2026-03-26 5/250 2026-03-29 01:25 by griffith2014
[考研] 11408软件工程求调剂 +3 Qiu学ing 2026-03-28 3/150 2026-03-28 21:50 by zhq0425
[考研] 调剂 +3 好好读书。 2026-03-28 3/150 2026-03-28 12:04 by 王保杰33
[考研] 085602 307分 求调剂 +7 不知道叫什么！ 2026-03-26 7/350 2026-03-28 09:57 by 神马都不懂
[考研] 359求调剂 +4 王了个楠 2026-03-25 4/200 2026-03-27 08:43 by 不吃魚的貓
[考研] 085601求调剂总分293英一数二 +4 钢铁大炮 2026-03-24 4/200 2026-03-26 16:28 by dick_runner
[考研] 0854人工智能方向招收调剂 +4 章小鱼567 2026-03-24 4/200 2026-03-25 13:29 by 2177681040
[考研] 求调剂 +3 李李不服输 2026-03-25 3/150 2026-03-25 13:03 by cmz0325
[考研] 生物学学硕求调剂 +7 小羊睡着了? 2026-03-23 10/500 2026-03-25 02:24 by 清风拂扬。 m
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭