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dlutwhx

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[求助] 快速腐蚀硅片的溶液

想快速腐蚀掉300微米厚的硅片，请问有什么专用的溶液可选吗？

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1楼 2013-04-27 17:06:35

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yswyx

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感谢参与，应助指数 +1

没啥专业的，KOH就好。浓度和腐蚀温度查腐蚀速率表。

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dlutwhx

2楼2013-04-27 18:37:09

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至尊木虫 (职业作家)

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可以有两种方法：
1，强碱
2，氢氟酸

黄委会-------时刻关注着母亲河的安危！

3楼2013-04-27 19:00:34

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静静一yi

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一般腐蚀选用强酸或者强碱~实验室常用koH,NaoH,HF,H2SO4.

15501697107

4楼2013-04-28 10:14:23

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dlutwhx

金虫 (小有名气)

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2楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-27 18:37:09
没啥专业的，KOH就好。浓度和腐蚀温度查腐蚀速率表。

请问哪儿有腐蚀速率表呢？求推荐

5楼2013-05-01 12:37:38

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quanbaogang

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氢氟酸不腐蚀硅。

应该是氢氟酸、硝酸和（水或草酸），具体配比决定速度，注意是各向同性腐蚀，可以百度。

6楼2013-05-01 21:41:48

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quanten

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KOH or TMAH etching, but it is better to use (110) wafer, and use SiO2 or Si3N4 for mask layer

7楼2013-05-02 03:18:18

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神魔流转

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★ ★ ★ ★ ★
dlutwhx: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-05-03 08:36:05

KOH就挺快的，我目前用6mol/L的溶液，效果还不错。

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dlutwhx

8楼2013-05-02 08:01:19

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guanllan

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只有氢氟酸，可以加点硝酸，但注意氢氟酸有毒，没有其他办法了。

9楼2013-05-02 21:47:10

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8楼: Originally posted by 神魔流转 at 2013-05-02 08:01:19
KOH就挺快的，我目前用6mol/L的溶液，效果还不错。

6mol/L的KOH溶液腐蚀速率有多快呢？

10楼2013-05-03 08:35:51

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