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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 快速腐蚀硅片的溶液
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dlutwhx

金虫 (小有名气)

[求助] 快速腐蚀硅片的溶液

想快速腐蚀掉300微米厚的硅片，请问有什么专用的溶液可选吗？
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1楼 2013-04-27 17:06:35
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
没啥专业的，KOH就好。浓度和腐蚀温度查腐蚀速率表。
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dlutwhx
2楼2013-04-27 18:37:09
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124685887

至尊木虫 (职业作家)

黄河水利委员会会长

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以有两种方法：
1，强碱
2，氢氟酸
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黄委会-------时刻关注着母亲河的安危！
3楼2013-04-27 19:00:34
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般腐蚀选用强酸或者强碱~实验室常用koH,NaoH,HF,H2SO4.
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15501697107
4楼2013-04-28 10:14:23
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dlutwhx

金虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-27 18:37:09
没啥专业的，KOH就好。浓度和腐蚀温度查腐蚀速率表。

请问哪儿有腐蚀速率表呢？求推荐
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5楼2013-05-01 12:37:38
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quanbaogang

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

氢氟酸不腐蚀硅。

应该是氢氟酸、硝酸和（水或草酸），具体配比决定速度，注意是各向同性腐蚀，可以百度。
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6楼2013-05-01 21:41:48
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400

【答案】应助回帖

KOH or TMAH etching, but it is better to use (110) wafer, and use SiO2 or Si3N4 for mask layer
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7楼2013-05-02 03:18:18
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神魔流转

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
dlutwhx: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-05-03 08:36:05
KOH就挺快的，我目前用6mol/L的溶液，效果还不错。
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dlutwhx
8楼2013-05-02 08:01:19
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guanllan

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

只有氢氟酸，可以加点硝酸，但注意氢氟酸有毒，没有其他办法了。
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9楼2013-05-02 21:47:10
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dlutwhx

金虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
8楼: Originally posted by 神魔流转 at 2013-05-02 08:01:19
KOH就挺快的，我目前用6mol/L的溶液，效果还不错。

6mol/L的KOH溶液腐蚀速率有多快呢？
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10楼2013-05-03 08:35:51
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